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更新時(shí)間:2023-03-29 08:03:13瀏覽次數(shù):162次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)產(chǎn)品介紹INTRODUCTIONParkNX20300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡,支持300mmX300mm全程機(jī)動(dòng)化
Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡,支持300mmX300mm全程機(jī)動(dòng)化。
新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓,且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。
經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調(diào)整的需求, 并使ParkNX2 0的掃描過(guò)程盡可能高效和便于使用。
通過(guò)我們的SmartScan測(cè)量界面,用戶可以在整個(gè)300mmx300mm 區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測(cè)量。
NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。
靈活的300mm樣品吸盤--Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、 形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。
專為大樣品晶圓檢測(cè)而建
NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì),可大樣品的測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微 鏡測(cè)量分析。這幵啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精確地幵展工作。
NX20支持300mm樣品臺(tái),性能已被證實(shí)
因其的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度,NX20已是FA、QA和QC工程師的。
憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺(tái)的擴(kuò)大平臺(tái),NX20 300mm更上一層樓,允許用戶輕松地以的精度檢測(cè)更大的樣品。
Park讓精確測(cè)量更為簡(jiǎn)單
ParkNX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng),使其成為市場(chǎng)上最易于使用的原子力顯微鏡之一。 通過(guò)直觀極為強(qiáng)大的界面,即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無(wú)需也可快速掃描大樣品。
這使高級(jí)工程師能夠集中精力解決更大的問(wèn)題和幵發(fā)更好的解決方案。
在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
SmartScan允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上,借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式,進(jìn)行自動(dòng)順序測(cè)量 表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。
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