擴(kuò)散硅壓力變送器工作原理

山東魯儀LYMP-200擴(kuò)散硅壓力變送器通過(guò)壓力傳感器把壓力信號(hào)變?yōu)殡娦盘?hào)，再由前置放大器把此電信號(hào)放大濾波，送往CPU的A/D轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換，由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下

被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片位移不大于0.025毫米，電子線(xiàn)路檢測(cè)這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測(cè)量信號(hào)。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過(guò)壓時(shí)膜片的位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過(guò)大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。擴(kuò)散硅壓力變送器能與的動(dòng)圈式指示儀、數(shù)字壓力表、電子電位差計(jì)配套使用，壓力變送器也能與各種自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)或計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配套使用。