非接觸式檢測(cè)SEMILAB晶體缺陷檢測(cè)裝置LST-重慶津澤機(jī)電科技有限公司

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非接觸式檢測(cè)SEMILAB晶體缺陷檢測(cè)裝置LST

晶體缺陷檢測(cè)裝置LST系列LST-2100, LST-2500,非接觸式晶體缺陷檢測(cè)裝置SIRM系列SIRM-2100,SIRM-2500,SIRM-3000,壓力測(cè)量?jī)xPSI系列PSI-2100,PSI-2500,PSI-3000,錯(cuò)位缺陷可視化裝置EnVision,DL S低溫恒溫器

產(chǎn)品介紹

LST 系列是一款功能強(qiáng)大的微晶缺陷分析儀。BMD 散射入射光，該光由樣品切割邊緣附近的 CCD 相機(jī)記錄。

SIRM 體微缺陷分析儀是一種非接觸式、無損光學(xué)儀器，用于完整的體微缺陷 (BMD) 表征（體和半導(dǎo)體晶圓表面附近的氧和金屬沉淀物、空隙、堆垛層錯(cuò)、滑移線、位錯(cuò)、等）是可能的。

PSI 產(chǎn)品系列專為檢查和可視化晶體缺陷而開發(fā)，例如與具有大產(chǎn)能的自動(dòng)化制造工廠的 Si 晶圓/小片中的機(jī)械應(yīng)力（應(yīng)力）相關(guān)的孿晶缺陷。。用于半導(dǎo)體晶圓的應(yīng)力測(cè)量。

晶體缺陷可視化裝置 EnVision 是一種非破壞性、非接觸式半導(dǎo)體檢測(cè)裝置，可以在 15 nm 級(jí)別可視化位錯(cuò)缺陷。錯(cuò)位缺陷的可視化使得過去依賴于工藝工程師的經(jīng)驗(yàn)和直覺的工藝工作的定量?jī)?yōu)化成為可能。對(duì)于驗(yàn)證在表面附近無法確認(rèn)的深度方向的應(yīng)力誘發(fā)位錯(cuò)缺陷非常有效。

DLS 低溫恒溫器：Semilab 提供以下用于 DLS 儀器的低溫恒溫器。

浴式低溫恒溫器：80K 至 450K – 加熱由計(jì)算機(jī)控制 – 控制器內(nèi)置于 DLS-1000 中。對(duì)流式（在 LN2 氣氛中）。

自動(dòng) LN2 低溫恒溫器 80K-550K（可選高達(dá) 800K）。樣品在真空室中——需要計(jì)算機(jī)控制加熱和冷卻（通過沸騰的液氮）。需要控制器——內(nèi)置 DOS PC 和低溫恒溫器控制器。

自動(dòng)氦氣（閉路循環(huán)）真空低溫恒溫器：30K 至 325K – 由 DLS 控制軟件控制。

真空低溫恒溫器需要真空泵（可選）。