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| 產地 | 進口 | 加工定制 | 否 |
|---|---|---|---|
| 質保 | 2年 |
控制器HM5000東京計裝TOKYOKEISO微型轉換器
控制器HM5000東京計裝TOKYOKEISO微型轉換器
熱式質量流量計TC-1000，TC-2000，微型轉換器TM-1400，TM3000，控制器HM1000，HM5000
產品介紹
TC-1000/2000是一種質量流量控制器，結合了氣體的熱式質量流量計和控制閥。一般用TC-1000，高壓用TC-2000。不受壓力和溫度變化影響的質量流量測量，可高精度控制各種氣體的流量。
特征
確保各種氣體的恒定流量
結合質量流量計實現(xiàn)兩種氣體的比例混合
各種半導體制造工藝
用于各種分析儀器
腐蝕性氣體管線的流量控制
用于新材料器件的研發(fā)
TM-1400是與TC-1000、TC-2000、TC-3000、EP-TC-1000/2000V系列質量流量控制器配套使用的專用轉換器。
配備質量流量控制器電源，瞬時流量刻度顯示，流量設定功能，外接/手動設定切換。
集成常規(guī)獨立功能，節(jié)省空間，簡化安裝工作。
特征
緊湊（DIN72方形）、輕量且節(jié)省空間
標配瞬時流量顯示、瞬時流量輸出、流量設定功能等過程管理和控制所需的功能。
所有配置參數(shù)都可以從前面板輕松設置
TM3000微型轉換器單元是與TF-900、TF-1000、TF-5000、TF-6000、(H-)EP-TF-5300系列質量流量計配套使用的專用轉換器。
DIN72方形外殼標配瞬時流量顯示/再輸出、積分值顯示、積分脈沖輸出、上下限2點報警輸出功能、RS-485通訊功能、檢測器驅動電源?？捎糜谡莆湛偭髁俊⒈O(jiān)視異常流量等廣泛用途。
HM1000是一款氣體質量流量計。有兩種類型：低價型和通用型。
特征
流量范圍廣
支持最小 0 至 5 mL/min (nor) 和 0 至 20 L/min (nor) 的廣泛范圍
高精準度
±1.5% FS (通用型)
組合豐富，周邊設備齊全
提供電源裝置、數(shù)字指示器和設定裝置（僅使用控制器）。易于安裝和接線。
負擔得起的經濟價格
應用
一般工業(yè)用途
各種分析儀器
氣體恒流控制
氣體混合分流系統(tǒng)
HM5000是一款氣體質量流量計。有通用型和高性能型兩種，可根據用途和目的選擇。
特征
流量范圍廣
最小 0.5mL/min(nor) 和 0.400L/min(nor) 的廣泛范圍
高精準度
±1%FS（高性能型）
通過混合IC提高可靠性和小型化
功能可以通過選項升級
軟啟動功能（僅限常閉型）
輸出信號1.5VDC
應用
一般工業(yè)過程
各種化學分析
半導體制造工藝
氣體恒流量控制、混合控制
設備內置
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