高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板WATTY常壓高精度熱板

高精度真空熱板，常壓高精度熱板，烘烤裝置，供氣裝置

產(chǎn)品介紹

高精度真空熱板

特點(diǎn)

面內(nèi)溫度分布高精度控制

關(guān)于形狀、尺寸等請(qǐng)聯(lián)系我們。

支持高達(dá) 400°C（鋁板）

使用示例

潔凈室一體化生產(chǎn)（100級(jí)、1000級(jí)）

CVD、蝕刻、灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線，排氣管線的設(shè)計(jì)和制造

各種管道材料和零件焊接的豐富后臺(tái)數(shù)據(jù)

焊接管道和特殊氣體的焊接

我們還可以制造管道。

使用注意事項(xiàng)

1. 安裝加熱器時(shí)，請(qǐng)擦去被加熱表面的油污、污垢等，安裝時(shí)應(yīng)確保粘合面不會(huì)形成氣穴。

2. 加熱器溫度根據(jù)使用條件（工作溫度等）而變化，因此，如果加熱器表面溫度可能超過(guò)200°C，請(qǐng)?jiān)谑褂们翱刂萍訜崞鞅砻鏈囟取?/span>

常壓高精度熱板

特點(diǎn)

與加熱器一體型相比，重量輕、功耗低

通過(guò)分體設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)FPD G8尺寸的高精度分布

支持高達(dá)400℃

使用示例

1.抗蝕劑、彩色濾光片等的烘烤（FEOL）

2.探針臺(tái)（BEOL）等檢查設(shè)備

3.用于掩模玻璃加熱

烘烤裝置

特點(diǎn)

我們將根據(jù)應(yīng)用提出單片式和多級(jí)式等建議。

從用于測(cè)試和研究的手動(dòng)式到用于批量生產(chǎn)的具有自動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的裝置的

設(shè)計(jì)和制造

供氣裝置

特點(diǎn)

潔凈室一體化生產(chǎn)（100級(jí)、1000級(jí)）CVD、蝕刻和灰化設(shè)備的工藝氣體供應(yīng)管線和排氣管線的設(shè)計(jì)和制造

豐富的后臺(tái)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)各種管道材料及零件的焊接

我們還生產(chǎn)焊管和特殊氣體用焊管。還可以實(shí)現(xiàn)交貨時(shí)間短和小批量生產(chǎn)。