ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場的一種干式泵。它可以滿足除半導(dǎo)體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對于其他干式泵來說，結(jié)構(gòu)簡單，價合理，因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術(shù)參數(shù)：
抽速：14m3/h～30m3/h
極限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力：25mbar（zui大）
Ecodrg活塞式干泵的主要特點(diǎn)：
1、結(jié)構(gòu)簡單，易于操作和維護(hù)；
2、工作過程中不產(chǎn)生粉塵；
3、耐粉塵，排水蒸氣能力強(qiáng)；
4、低能耗，堅固耐用，可靠性高；
5、可以選配變頻器增大抽速；
典型應(yīng)用：質(zhì)譜儀，電子顯微鏡，照明，鍍膜，loadlock，無油高真*級泵等。

SC渦旋式真空泵
    目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學(xué)工業(yè)的發(fā)展迅速，對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求，歐瑞康萊寶推出了SC系列渦旋式真空泵。
    1、SC系列真空泵特點(diǎn)：
    ·可以提供抽速為5,15和30m³/h的3款產(chǎn)品SC5/15/30D；
    ·高極限真空，zui低可達(dá)0.01mbar；
    ·低噪聲；
    ·低振動；
    ·允許進(jìn)氣壓力大；
    ·重量輕；
    ·能耗低；
    2、應(yīng)用范圍：
    ·電子束焊接；
    ·激光；
    ·檢漏系統(tǒng)；
    ·加速器/同步加速器；
    ·表面分析儀；
    ·STM’s；
    ·ELMI；
    ·小型渦輪泵組；
    ·搬送室；