伊特克斯惰性氣體系統(tǒng)（北京）有限公司
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閱讀：114發(fā)布時間：2025-1-6
一、壓力衰減測試
原理：
這是一種常用的檢測方法。通過向手套箱內(nèi)充入一定壓力的氣體（一般是惰性氣體，如氮氣），然后關閉進氣口，觀察一段時間內(nèi)壓力的變化情況。如果手套箱密封良好，壓力下降的幅度應該在允許的范圍內(nèi)；如果存在泄漏，壓力會明顯下降。
操作步驟：
首先將手套箱內(nèi)的壓力升高到一個設定值，例如比外界大氣壓高 10 - 20kPa。使用高精度的壓力傳感器記錄初始壓力值，然后關閉所有與外界相通的閥門，包括進氣閥、排氣閥等。在一段時間內(nèi)（通常是數(shù)小時甚至更長時間，具體根據(jù)實際情況和要求而定），持續(xù)監(jiān)測壓力變化。如果在規(guī)定時間內(nèi)，壓力下降不超過一定數(shù)值（如每小時下降不超過 0.1 - 0.2kPa），則可以認為密封性能基本達標。
二、氦質譜檢漏
原理：
氦氣是一種小分子、高擴散性的氣體，且在空氣中含量極低。利用氦質譜檢漏儀，將氦氣噴在手套箱可能泄漏的部位，如箱體的焊縫、接口、手套與箱體的連接處等。如果這些部位存在泄漏，氦氣會進入手套箱內(nèi)部，氦質譜檢漏儀就能檢測到氦氣的信號，從而確定泄漏點及其泄漏率。
操作步驟：
首先將手套箱內(nèi)抽成真空狀態(tài)，或者充入一定壓力的氣體。然后，使用氦氣噴槍將氦氣噴在懷疑有泄漏的地方。氦質譜檢漏儀與手套箱的內(nèi)部空間相連，一旦檢測到氦氣，就會顯示出相應的信號強度和泄漏率。一般來說，對于半導體等對密封要求嚴格的行業(yè)，允許的氦氣泄漏率可能要低于1×10?? Pa?m3/s。
三、氣泡檢測法
原理：
將手套箱密封后，在可能泄漏的部位涂抹肥皂水等表面張力較低的液體。如果有泄漏，氣體從泄漏點逸出時會在液體中形成氣泡，通過觀察氣泡的產(chǎn)生情況可以判斷是否存在泄漏以及大致的泄漏位置。
操作步驟：
在手套箱的焊縫、接口、閥門等部位涂抹均勻的肥皂水。然后向手套箱內(nèi)充入一定壓力的氣體（壓力不宜過高，以免損壞箱體），仔細觀察涂抹肥皂水的部位。如果看到有連續(xù)的氣泡產(chǎn)生，說明該部位存在泄漏，并且氣泡產(chǎn)生的速度和大小可以大致反映泄漏的嚴重程度。不過這種方法相對比較粗糙，對于微小泄漏可能不太敏感。
四、氧氣、水分含量檢測
原理：
在手套箱內(nèi)建立一個相對穩(wěn)定的無氧、無水的環(huán)境后，如果密封性能不好，外界的氧氣和水分會逐漸進入箱內(nèi)，導致箱內(nèi)氧氣和水分含量升高。通過檢測箱內(nèi)氧氣和水分的含量變化，可以間接判斷密封性能。
操作步驟：
首先將手套箱內(nèi)的氧氣和水分含量降低到一個較低的水平，例如氧氣含量低于 1ppm，水分露點低于 - 70℃。使用高精度的氧氣分析儀和露點儀持續(xù)監(jiān)測箱內(nèi)的氧氣和水分含量。如果在一段時間內(nèi)（如數(shù)天），氧氣和水分含量上升幅度較?。ㄈ缪鯕夂棵刻焐仙怀^ 0.1ppm，水分露點上升不超過 1℃），則說明密封性能較好。
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