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P77系列壓電式移相器

時間：2019-3-18 閱讀：1066
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P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，與光學(xué)平面檢測儀相匹配。

 

特點

· 一維 Z 向運動

· 分辨率可達0.5nm

· 通孔尺寸為Ø160mm

· 行程范圍20μm

· 大承載10kg

承載能力

P77.D4 的承載能力高達10kg。

 

多點位移測量

出廠前，對多個點進行位移測量，保證運動的直線度。

 

步進曲線

 

開環(huán)曲線

 

技術(shù)參數(shù)

 

以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得

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