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壓電平臺(tái)內(nèi)置傳感器類(lèi)型對(duì)比
SGS電阻式傳感器
是通過(guò)SGS電阻應(yīng)變計(jì)發(fā)生形變后電阻發(fā)生的變化來(lái)檢測(cè)位移。
彌補(bǔ)和解決
修正壓電元件在伸長(zhǎng)與縮短的過(guò)程中的遲滯與蠕變。
電容式位移傳感器
電容式位移傳感器由兩個(gè)平行電極板組成，兩極板分別安裝在測(cè)量端與測(cè)量目標(biāo)上，兩極板之間電容的變化轉(zhuǎn)換成位移。該傳感器具有高分辨率，高再現(xiàn)性和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)。
彌補(bǔ)和解決
當(dāng)傳感器探頭和測(cè)量目標(biāo)之間的距離為一定距離時(shí)，傳感器輸出為零。 距離稱(chēng)為“偏移”。根據(jù)偏移距離設(shè)置測(cè)量范圍。偏移通常相當(dāng)于測(cè)量范圍的5?10％，可以選擇的測(cè)量范圍根據(jù)測(cè)量探頭的外徑而有所不同，傳感器位移分辨率通過(guò)以下公式計(jì)算：
分辨率=測(cè)量范圍/輸出電壓寬度×噪聲電平
