精密定位技術(shù)對定位系統(tǒng)的精度和行程提出了越來越高的要求，壓電機構(gòu)驅(qū)動宏微復(fù)合對這一要求提供了關(guān)鍵的技術(shù)支持，解決了其要求行程大、定位精度高等技術(shù)難題，同時還具備了體積小、響應(yīng)速度快、出力大等技術(shù)優(yōu)勢。

芯明天壓電宏微復(fù)合機構(gòu)是手動調(diào)節(jié)與電壓調(diào)節(jié)相結(jié)合的超精密定位臺。控制結(jié)構(gòu)分為兩部分，一部分為手動調(diào)節(jié)臺，通過千分尺進行調(diào)節(jié)；另一部分為壓電納米定位臺，內(nèi)部由壓電陶瓷驅(qū)動，通過施加電壓來控制。在粗調(diào)機構(gòu)中，可調(diào)整的直線運動行程為13mm，分辨率為10μm。在精調(diào)機構(gòu)中，可調(diào)整的直線運動行程可達100μm，分辨率為2.5nm。可通過兩種調(diào)節(jié)結(jié)合來達到納米級定位精度。

1

以P84系列壓電宏微復(fù)合機構(gòu)為例

特點：

· X向運動，1至3維自由組合；

· 易于調(diào)節(jié)，分辨率可達2.5nm

· 粗調(diào)行程13mm/軸

· 精調(diào)行程100μm/軸

· 壓電調(diào)節(jié)可選配閉環(huán)傳感器

· 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧

技術(shù)參數(shù)：

P84宏微復(fù)合機構(gòu)可與宏動平臺配合使用，1~3維自由組合，組成大行程高精度運動平臺。