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小體積一維壓電旋轉(zhuǎn)臺
P21壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺,產(chǎn)品體積小巧,旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)到7.5mrad,承載能力達(dá)0.1kg,可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。
產(chǎn)品運(yùn)動示意圖
小體積、高分辨率、高精度
P21一維旋轉(zhuǎn)臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理, 可以實(shí)現(xiàn)7.5mrad的旋轉(zhuǎn), 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊, 尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,臺體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),無摩擦、無回差,可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度,在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
典型應(yīng)用
頻率負(fù)載曲線
應(yīng)用實(shí)例
P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用,組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。
技術(shù)參數(shù)
型號:P21
運(yùn)動自由度:θz
旋轉(zhuǎn)角度@120V:6mrad(~1240”)
旋轉(zhuǎn)角度@150V:7.5mrad(~1500”)
閉環(huán)傳感器:SGS
閉/開環(huán)分辨率:0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)
閉環(huán)線性度:0.5%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.2%F.S.
推/拉力:10/5N
運(yùn)動方向剛度:1N/μm
空載諧振頻率:1.1kHz
閉/ 開環(huán)空載階躍時間:30/1.5ms
承載能力:0.1kg
靜電容量:1.8μF
材質(zhì):鋁
重量:105g