P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺，平臺采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電疊堆陶瓷，具有非常高的線性度，運(yùn)動(dòng)行程可達(dá)330μm，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P60.X250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實(shí)現(xiàn)非常高的線性度與重復(fù)度。同時(shí)，其抗震動(dòng)的設(shè)計(jì)，非常適用于相關(guān)實(shí)驗(yàn)及應(yīng)用環(huán)境。

特點(diǎn)

• X向運(yùn)動(dòng)

• 行程可達(dá)330μm

• 抗振動(dòng)設(shè)計(jì)

• 兩通道控制（含1路恒壓）

• 差分驅(qū)動(dòng)

• 快速響應(yīng)

應(yīng)用

• 計(jì)量/干涉

• 納米定位

• 質(zhì)量保證測試

• 精密控制

電壓位移曲線

階躍時(shí)間曲線

P60.X250S帶載200g，小幅值階躍時(shí)間可達(dá)20ms。

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度：X

行程范圍（0~120V）：±130μm

行程范圍（0~150V）：±165μm

傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：12/5nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：＜10μrad

推/拉力：300/30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：1.2 N/μm

空載諧振頻率：490Hz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：80/40ms

承載能力：0.6kg

靜電容量：24.6μF

工作溫度：-40~+80℃

抗振設(shè)計(jì)：半正弦15g，11ms

后峰鋸齒波20g，11ms

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：950g

推薦控制器

P60.X250為一維X向差分驅(qū)動(dòng)定位臺，需配套兩通道（含一路恒壓）控制器，可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器，同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩臺P60.X250，實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)控制。