隨著壓電應用技術的進步與發(fā)展，研究人員已經不再滿足于微小位移、高精度的場景需求，帶有高精度的更大的位移行程需求不斷提出。此類壓電產品也隨著壓電技術的發(fā)展進步應運而生。芯明天XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動技術相結合的方式，滿足XY軸mm級大行程，并且實現(xiàn)Z軸nm級的高精度。

特點

XY宏動毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調整

Z向微動微米行程，適于光學聚焦調整

Φ35mm中心通孔，適于透射光應用

電壓驅動控制，速度快，操作便捷

宏微復合

XYZ72SN81K13系列運動平臺，采用宏微復合的方式，將壓電粘滑原理與壓電微動技術結合，可實現(xiàn)XY軸的大行程宏動，行程可達±5mm/軸；Z軸進行微動調節(jié)，行程可達8μm。

• XY毫米行程運動，壓電螺釘驅動

XY軸采用芯明天設計生產的壓電螺釘來驅動，它利用粘滑原理，具有行程大、精度高等特點。再結合中空式滑動平臺，將壓電螺釘?shù)闹本€運動轉換至滑動平臺的XY軸運動。

• Z向微米行程運動，壓電直驅結構

Z軸采用PZT壓電直驅結構，提供微米級行程、納米級精度。驅動電壓與運動行程成線性關系。

配備籠式結構安裝孔位

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動平臺是專為籠式結構中的應用而設計，結構中配備了籠式結構安裝通孔，可直接集成到籠式結構中。它可用于帶載任何光學元件，例如在籠式結構中帶載透鏡，XY向的運動調整可精確控制透鏡焦點在平面內的中心位置，而Z向的微運動可對焦點在光軸上的位置進行精確的納米級微調整。

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動平臺采用φ35mm的通光孔徑結構，適合于光學應用。

Z向微動位移與電壓曲線

不同于XY向的驅動原理，Z向驅動時，產生的位移與驅動電壓成線性關系。

技術參數(shù)

型號：XYZ72SN81K13

運動自由度：XYZ

XY宏動行程：±5mm/軸

Z向微調行程：8μm@150V

XY最小位移增量：<30nm

Z向閉/開環(huán)分辨率：0.3/0.1nm

Z向微調傳感器：SGS

Z向空載諧振頻率：2.5kHz

承載能力：正立500g/側放200g