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壓電掃描臺柔性導向系統(tǒng)的優(yōu)勢
壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應速度快，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有高的可靠性。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學顯微成像系統(tǒng)等。
采用柔性鉸鏈機構，鉸鏈機構基于固體的彈性變形，無滾動和滑動部分，具有零摩擦、高精度的特點，并且具有很高的剛度和承載能力。更重要的是，芯明天壓電納米定位臺的定位精度可達納米級甚至亞納米級。
壓電納米運動系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。同時壓電效應將電能直接轉(zhuǎn)換為運動，在靜態(tài)操作時，即使在負載情況下，也不會消耗功率。
除了在光刻實驗中有著應用，還在激光直寫系統(tǒng)中有著廣泛的應用。激光直寫是利用強度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設計的任意圖形，從而把設計圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。
