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新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺(tái)

時(shí)間：2024-8-6 閱讀：884
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P66系列壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，內(nèi)部采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的1~3維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺(tái)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適用于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正，顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
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1~3維P66系列壓電納米定位臺(tái)

P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺(tái)。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu)，X向最大位移2.4μm，開環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm，承載可達(dá)2kg，諧振頻率可達(dá)12kHz，它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，定制航空連接器，可在真空環(huán)境下使用，芯明天可定制真空工作環(huán)境使用產(chǎn)品達(dá)2E-11mbar。P66.X2K-B1產(chǎn)品外觀如下圖所示。
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產(chǎn)品特點(diǎn)



一維X向運(yùn)動(dòng)
精度可達(dá)0.5nm
承載可達(dá)2kg
諧振頻率可達(dá)12kHz
毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
定制采用航空連接器
真空版本，可選配閉環(huán)版本

產(chǎn)品應(yīng)用



干涉
顯微/掃描
光學(xué)測量
微加工/精密控制
計(jì)量

技術(shù)參數(shù)



 

型號(hào)
P66.X2K-B1Z
運(yùn)動(dòng)自由度
X
驅(qū)動(dòng)控制
1路驅(qū)動(dòng)
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
1.9μm
行程范圍（0~150V）
2.4μm
開環(huán)分辨率
0.5nm
空載諧振頻率
12kHz
帶載諧振頻率
10kHz@20g
階躍時(shí)間
2ms
靜電容量
0.58μF
工作溫度范圍
-20~80℃
承載能力
2kg
材質(zhì)
不銹鋼、鋁合金
重量
310g

 


配套控制器



E53.C1K非常適用于驅(qū)動(dòng)P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺(tái)。它是一款小體積單通道壓電控制器，24VDC/1.5A供電，采用模擬或數(shù)字控制，通信接口為USB/RS-422/RS-232，帶寬10kHz，尺寸為148mm×27.5mm×80mm，體積小巧，易集成。

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