P63.Z一維Z向壓電納米定位臺 6.8μm價格 P63.Z直驅(qū)壓電平移臺，是一維Z軸運動壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

特性   P63.Z一維Z向壓電納米定位臺 6.8μm價格

• 1~3維自由組合                   • 位移行程6.8μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時間                   • 承載0.8kg                   •  重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

小體積、高精度、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P63系列壓電納米定位臺重要的特點是精密且體積小巧，P63.Z一維的尺寸僅為30×30×24mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。 P63系列納米定位臺是高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計的，具有低慣性，響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。