P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad-哈爾濱芯明天科技有限公司

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P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有高的運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大直徑鏡片而設(shè)計(jì)，可加載直徑達(dá)80mm的鏡片，它的差分驅(qū)動(dòng)在較大溫度范圍內(nèi)表現(xiàn)出出色的角度定位穩(wěn)定性。P34系列偏轉(zhuǎn)鏡允許頂部平臺(tái)在具有共同樞軸點(diǎn)（并聯(lián)運(yùn)動(dòng)）的兩個(gè)正交軸上進(jìn)行高動(dòng)態(tài)精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，多種鏡片安裝面可選，以獲得對(duì)不同鏡片材料的理想熱適應(yīng)。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇，所有版本都具有亞微弧度分辨率，且傾斜角度可達(dá)6mrad(等于光束偏轉(zhuǎn)12mrad)。

特性

• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度6mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

高穩(wěn)定性、線性度及動(dòng)態(tài)性、使用壽命長(zhǎng)

結(jié)構(gòu)原理

芯明天壓電俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，兩個(gè)方向偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)共用同一個(gè)移動(dòng)面。內(nèi)部四個(gè)壓電促動(dòng)器是成對(duì)的差分控制，決定了平臺(tái)俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。這使得P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環(huán)境中具有較好的角度定位穩(wěn)定性。

內(nèi)部采用芯明天疊堆型壓電促動(dòng)器可保證可靠性。特殊樹(shù)脂絕緣使其可抵抗環(huán)境濕度及漏電流故障。所以在可靠性及壽命上遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)壓電促動(dòng)器。

偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸）是基于4個(gè)壓電陶瓷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而成，每軸采用兩個(gè)壓電陶瓷，以推拉模式形成偏擺運(yùn)動(dòng)，采用橋式連接電路控制。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，是成對(duì)的差異控制分布形式。

通過(guò)差分結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩(wěn)定性，這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺(tái)的垂直方向定位，而對(duì)角度定位則沒(méi)有影響，在閉環(huán)下，可以保證系統(tǒng)的線性度和分辨率。