超低溫真空無磁壓電掃描臺

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應用而設計，可進行XYZ三維掃描運動，采用低溫壓電驅(qū)動，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應低溫環(huán)境下的使用。

超低溫真空無磁壓電掃描臺產(chǎn)品特點

· 低溫真空無磁，耐低溫可達4K

· XYZ三維運動

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開環(huán)運動控制

· 響應速度快

· 半導體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無磁要求的納米運動控制等