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供應(yīng)日本SMC磁性開(kāi)關(guān),MDBD63-150-XC5

系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
XVD  常斷
（加壓通/彈簧密封） 氮?dú)?、空氣、惰性氣體等 VCR®
Swagelok® 1/4B
特長(zhǎng) •閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來(lái)的1/4。
•（閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
• 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
 系列/CAD 使用壓力范圍 （Pa） 使用流體 門(mén)尺寸
（×寬） （mm） 動(dòng)作壓力
（MPa）
XGT  大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
46×236
50×336 0.45～0.6
特長(zhǎng) •對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門(mén)閥隔開(kāi)的場(chǎng)合。
系列 SV1000 SV2000 SV3000 SV4000

使用流體 空氣
內(nèi)部導(dǎo)式
使用壓力范圍
MPa
2位單電控
4位雙3通閥
2位雙電控
3位閥
外部導(dǎo)式
使用壓力范圍
MPa
使用壓力范圍
2位單電控、雙電控
3位閥
環(huán)境溫度及使用流體溫度℃
Z大作動(dòng)頻度
Hz
2位單電控、雙電控
4位雙3通閥
3位閥
0.15~0.7
0.1~0.7
0.2~0.7
-100kPa~0.7
0.25~0.7
5
3
   響應(yīng)時(shí)間
       ms
（0.5MPa時(shí)）
2位單電控
2位雙電控
3位
4位雙3通閥
11以下
10以下
18以下
15以下
25以下
17以下
29以下
33以下
28以下
26以下

供應(yīng)日本SMC磁性開(kāi)關(guān),MDBD63-150-XC5