在我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速增長的帶動下，近幾年來我國半導(dǎo)體支撐
材料產(chǎn)業(yè)有了相當(dāng)?shù)陌l(fā)展，取得了明顯的進(jìn)步。在IC CHINA 2006
期間，國內(nèi)半導(dǎo)體支撐材料主要企業(yè)集中展示了其成果，并發(fā)布
了其動態(tài)和策略。

　　有研硅股：
    建成12英寸硅單晶拋光片中試線

　　進(jìn)入21世紀(jì)以來，集成電路制造技術(shù)進(jìn)入了新一輪的快速發(fā)
展時期，0.13-0.10微米直徑12英寸集成電路技術(shù)開始進(jìn)入市場，對
直徑12英寸硅片的需求也由技術(shù)研發(fā)轉(zhuǎn)變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)的市場需求。為適應(yīng)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，有研硅股在*和北京市政府的共同支持
下，攻克了大直徑硅單晶生長、大直徑硅片加工、分析檢測等一系列
技術(shù)難關(guān)，開發(fā)成功全套生產(chǎn)工藝，申請22項(xiàng)，并建成了我國第
一條月產(chǎn)1萬片、直徑12英寸硅單晶拋光片中試生產(chǎn)線。
　　公司技術(shù)人員在“863”計(jì)劃戰(zhàn)略性、前沿性、前瞻性定位要求
下，在不到5年的時間里，走過了從大直徑單晶生長到拋光片成品的
近30道關(guān)鍵工序的技術(shù)方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選型、工藝研究的全過程；跨
越了從關(guān)鍵技術(shù)研究向連續(xù)化生產(chǎn)的中試生產(chǎn)線導(dǎo)入的轉(zhuǎn)變；經(jīng)歷了
從研究開發(fā)樣品到批量生產(chǎn)產(chǎn)品的客戶檢測和供貨評估的艱難歷程，
實(shí)現(xiàn)了我國直徑12英寸硅單晶拋光片生產(chǎn)零的突破。

　　科華微電子材料：
    即將建設(shè)百噸級正膠生產(chǎn)線

　　北京科華微電子材料有限公司是2004年8月注冊成立的中美合資
企業(yè)，主要從事超大規(guī)模集成電路、分立器件和液晶顯示器件制作用
光刻膠及配套試劑的生產(chǎn)與研發(fā)，是目前國內(nèi)同時集光刻膠研發(fā)與生
產(chǎn)、銷售于一身的專業(yè)性*企業(yè)。公司擁有國內(nèi)外的具有
多年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn)的專家隊(duì)伍、高素質(zhì)的管理團(tuán)隊(duì)和具有*
水平的分析和應(yīng)用測試設(shè)備。公司擁有已建成投產(chǎn)的北京燕山生產(chǎn)基
地、位于美國波士頓的光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室及正在建設(shè)中的北京天竺光
刻膠及配套試劑的生產(chǎn)基地。公司即將在北京天竺出口加工區(qū)建設(shè)百
噸級正膠生產(chǎn)線。

　　華誼微電子材料：
    建成15000噸級電子化學(xué)品項(xiàng)目

　　上海華誼集團(tuán)公司在“十五”期間成功承擔(dān)了國家“863”超大
規(guī)模集成電路配套材料重大專項(xiàng)中超純試劑工藝研究開發(fā)任務(wù)。在產(chǎn)
業(yè)化建設(shè)進(jìn)程中與中國臺灣聯(lián)仕電子化學(xué)材料股份有限公司以各50%股份
合資成立了上海華誼微電子材料有限公司（華誼微電子）。公司集化學(xué)
品提純、高純高凈分析檢測、包裝、售后服務(wù)為一體。
　　經(jīng)過一年多的建設(shè)，華誼微電子年產(chǎn)15000噸的微電子化學(xué)品項(xiàng)
目已建成，并于9月8日舉行開業(yè)典禮。項(xiàng)目包括超大規(guī)模集成電路制
造過程中需要的硫酸、過氧化氫、氨水、氟化銨、硝酸、鹽酸、醋酸、
BOE等各主要品種，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到SEMIC12標(biāo)準(zhǔn)，可以滿足12英寸
芯片的制造工藝要求。項(xiàng)目的建設(shè)將改變我國國內(nèi)超大規(guī)模集成電路
制造業(yè)超純高凈試劑化學(xué)品依靠進(jìn)口的局面。“十一五”期間，華誼
微電子將在已建成的萬噸級微電子化學(xué)品裝置基礎(chǔ)上，繼續(xù)提高產(chǎn)品
質(zhì)量以滿足半導(dǎo)體制造業(yè)的需要，以更好地為客戶提供高品質(zhì)服務(wù)。

　　晶瑞化學(xué)：
    100ppt級雙氧水項(xiàng)目將投產(chǎn)

　　蘇州晶瑞化學(xué)有限公司是一家集開發(fā)、生產(chǎn)、營銷微電子用高純
化學(xué)品的高新企業(yè)。產(chǎn)品包括氫氟酸、過氧化氫、異丙醇、氨水、硫
酸、硝酸、鹽酸、氟化銨、無水乙醇、丙酮、混酸蝕刻液等。產(chǎn)品廣
泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD面板制造過程中的蝕刻與
清洗。已投入使用的一期工程，建筑面積3200平方米，萬級（局部百
級）凈化廠房400平方米。年產(chǎn)5000噸各類超高純化學(xué)試劑。2006年2
月公司與比利時Solvay公司合資建立了蘇州蘇瑞電子材料有限公
司（Interox-SEM Co.，Ltd），專注于開發(fā)、生產(chǎn)、營銷超高純雙
氧水，公司設(shè)計(jì)年產(chǎn)4000噸100ppt級雙氧水，產(chǎn)品規(guī)格可以滿足8-
12英寸IC芯片生產(chǎn)工藝要求，預(yù)計(jì)將在2006年10月份全面投產(chǎn)。

　　光明化工研究設(shè)計(jì)院：
    組建電子氣體工程研究中心

　　隨著我國IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，IC產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵支撐材料高純電子氣體
的需求呈現(xiàn)大幅增長態(tài)勢。電子氣體國產(chǎn)化已成為降低IC制造成本、
增強(qiáng)競爭力、實(shí)現(xiàn)我國IC產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的必然。光明化工研究設(shè)
計(jì)院前身為化工部光明化工研究所，是以特種氣體（包括電子氣體）為
主導(dǎo)方向的科研機(jī)構(gòu)。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，光明院已形成以特種氣
體、微電子、光電子關(guān)鍵支撐材料———電子化學(xué)品為主導(dǎo)的多種專
業(yè)并存的，集科研開發(fā)、工程設(shè)計(jì)、生產(chǎn)經(jīng)營、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗(yàn)
為一體的綜合性科研機(jī)構(gòu)?；瘜W(xué)工業(yè)（全國）氣體質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、
全國特種氣體信息中心均設(shè)在光明院。
　　光明院已確定組建電子氣體工程研究中心，工程中心將以光明院
為技術(shù)依托，以“科技成果產(chǎn)業(yè)化、運(yùn)行機(jī)制企業(yè)化、發(fā)展方向市場
化”為核心，實(shí)現(xiàn)機(jī)制創(chuàng)新與技術(shù)創(chuàng)新相結(jié)合，建成高水平的電子氣
體研究開發(fā)、技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化基地。