| 熱工量 | 溫度、熱量、熱流、壓力、真空度、壓差、流速、流量、質(zhì)量流量、物位、淤、界面等 |
| 電工量 | 電壓、電流、電功率、電阻抗、頻率、磁場、射線量（α、β、γ）、輻射率等 |
| 機械量 | 位移、角位移、速度、轉(zhuǎn)速、加速度、力、應力、力矩、重量、振動、振幅、長度、寬度、厚度、橢圓度、表面粗糙度、硬度等 |
| 物性與成分量 | 氣體成分、液體成分、固體成分、濃度、黏度、粒度、濁度、白度、濕度、露點、水分、密度、酸堿度、分子量、純度、轉(zhuǎn)化率等 |
| 狀態(tài)量 | 機械運轉(zhuǎn)狀態(tài)：起停、振動、位移、聲音 設備異常狀態(tài)：過熱、泄漏、變形、裂紋、磨損、管道閉塞、過負載等 產(chǎn)品在線檢查：表面質(zhì)量、疵品、形狀等 儀表裝置狀態(tài)：絕緣、斷線、電源等 |
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