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微電子所在石墨烯電子器件研制上獲得整體突破

時間：2011-8-17閱讀：1064
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　石墨烯材料具有優(yōu)良的物理特性和易于與硅技術相結合的特點，被學術界和工業(yè)界認為是推進微電子技術進一步發(fā)展的潛力的材料。日前，*微電子研究所微波器件與集成電路研究室（四室）石墨烯研究小組成員（麻芃、郭建楠、潘洪亮）在金智研究員和劉新宇研究員的帶領下，分別在采用微機械剝離方法、SiC外延生長法和化學氣相淀積（CVD）法生長出的新型石墨烯材料上，成功研制出高性能的石墨烯電子器件。

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