項(xiàng)目名稱

具體描述

X射線激發(fā)系統(tǒng)

·垂直下照式X射線光學(xué)系統(tǒng)

·50W（50kV，1.0mA）空冷式微聚焦型鎢W靶X射線管

準(zhǔn)直器系統(tǒng)

·單準(zhǔn)直器組件；

·多準(zhǔn)直器自動(dòng)控制組件：zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器

·園形、正方形、矩形和多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選（紅色為常用的）：

測(cè)量斑點(diǎn)尺寸

在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器）

樣品室

開(kāi)槽式樣品室，測(cè)量大型平板樣品，如尺寸大于儀器寬度的線路板

項(xiàng)目名稱

具體描述

X射線激發(fā)系統(tǒng)

·垂直下照式X射線光學(xué)系統(tǒng)

·50W（50kV，1.0mA）空冷式微聚焦型鎢W靶X射線管

準(zhǔn)直器系統(tǒng)

·單準(zhǔn)直器組件；

·多準(zhǔn)直器自動(dòng)控制組件：zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器

·園形、正方形、矩形和多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選（紅色為常用的）：

測(cè)量斑點(diǎn)尺寸

在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器）

樣品室

開(kāi)槽式樣品室，測(cè)量大型平板樣品，如尺寸大于儀器寬度的線路板

樣    品    臺(tái)

固定樣品臺(tái)

·Z軸自動(dòng)控制，移動(dòng)行程：43mm （1.7"），XY軸手動(dòng)控制

·zui大樣品高度33mm

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：407×770×305mm（16×30.3×12"）

加深樣品臺(tái)

·Z軸自動(dòng)控制，移動(dòng)行程：43mm （1.7"），XY軸手動(dòng)控制

·zui大樣品高度160mm

·樣品倉(cāng)有4個(gè)位置卡槽，相鄰卡槽垂直間距25.4mm，樣品臺(tái)支架可放置在不同位置的卡槽上，可測(cè)不同高度的樣品

·樣品倉(cāng)內(nèi)部尺寸（寬×深×高）：279×508×152mm（11×20×6”）

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：407×770×400mm（16×30.3×15.7"）

·自定義樣品臺(tái)：依據(jù)客戶要求提供更高的樣品臺(tái)，滿足高度＞160mm的樣品測(cè)量，倉(cāng)內(nèi)設(shè)置多個(gè)位置卡槽，相鄰卡槽垂直間距25.4mm

自動(dòng)樣品臺(tái)

·Z軸自動(dòng)控制，移動(dòng)行程：43mm（1.7"）

·XY軸自動(dòng)控制，樣品臺(tái)移動(dòng)行程：178×178mm（7x7”）

·zui大樣品高度33mm

·樣品臺(tái)尺寸（寬×深）：610×560mm（24×22”）

·儀器外形尺寸（寬×深×高）：610×1037×375mm（24×40.8×14.8"）

·可提供對(duì)樣品的自動(dòng)和編程控制，多點(diǎn)測(cè)量

·鼠標(biāo)控制樣品臺(tái)移動(dòng)，精確地定位樣品測(cè)量點(diǎn)

鐳射聚焦

·鐳射用于自動(dòng)精確定位X射線光管/探測(cè)器與樣品到測(cè)試距離

·單擊鼠標(biāo)，Z軸自動(dòng)掃描

·Z軸自動(dòng)聚焦到焦距12.7mm，同時(shí)將樣品圖像定焦（顯示在屏幕上）

·避免了人為操作誤差

樣品觀察系統(tǒng)

·高分辨率彩色CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)放大倍數(shù)為30倍

·可選50倍和100倍觀察系統(tǒng)

結(jié)果輸出

·測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)告可直接打印或一鍵導(dǎo)出到PDF文件、Excel文件，為質(zhì)量管理保留寶貴的原始資料

·測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)告可包含測(cè)量數(shù)據(jù)、測(cè)量樣品圖像、各種統(tǒng)計(jì)分析圖表、自定義的報(bào)告模板（系統(tǒng)預(yù)置模板、含用戶信息的自制模板）

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置

·IBM計(jì)算機(jī)

·佳能彩色噴墨打印機(jī)

分析應(yīng)用軟件

·操作系統(tǒng)：Windows XP中文平臺(tái)

·分析軟件包：SmartLink FP軟件包

系統(tǒng)安全性

·Z軸保護(hù)傳感器

·安全防射線光閘

·樣品室門開(kāi)閉傳感器

·X射線鎖

·X射線警示燈

·緊急停止按鈕

·前面板安全鈕和后面板安全鎖

·多用戶密碼保護(hù)，只向日常操作員設(shè)定有限的*，操作界面簡(jiǎn)單，功能受限

·主管人員可進(jìn)行系統(tǒng)維護(hù)

·系統(tǒng)自動(dòng)生成操作員的使用記錄

·開(kāi)啟“自動(dòng)鎖定”功能可以防止未*人員使用；測(cè)量結(jié)束后，超過(guò)預(yù)設(shè)的時(shí)*，軟件鎖定并要求輸入密碼

測(cè)量自動(dòng)化功能

鼠標(biāo)激活測(cè)量模式：“Point and Shoot”

多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量模式：隨機(jī)模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、重復(fù)測(cè)量模式

測(cè)量位置預(yù)覽功能

激光對(duì)焦和自動(dòng)對(duì)焦功能

統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能

平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動(dòng)范圍、數(shù)據(jù)編號(hào)、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖

任選軟件：統(tǒng)計(jì)報(bào)告編輯器允許用戶自定義多媒體報(bào)告書(shū)

數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表、直方圖

數(shù)據(jù)庫(kù)存儲(chǔ)功能

膜厚范圍

*層（zui上層）

第二層

第三層

小于0.5 µm （20 µin）

+ 1 µin 或更好

+ 2 µin 或更好

+ 3 µin 或更好

大于0.5 µm

+ 5% 或更好

+ 10% 或更好

+ 15% 或更好

含量

*層

第二層

1--99 wt %

+ 3 wt % 或更好