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真尚有_KD5100 | 納米級差動電渦流傳感器

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更新時間:2023-11-01 11:25:40瀏覽次數:131次

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產品簡介

KD5100納米級差動電渦流傳感器具有堅固的結構,平均故障間隔時間超過 55,000 小時,太空飛行環(huán)境中的平均故障間隔時間為 238,000 小時。而且KD5100 的小封裝尺寸(僅 2 x 2.12 x 0.75 英寸) 厚)使該系統(tǒng)成為空間受限的應用的理想選擇。KD5100納米級差動電渦流傳感器即使暴露于所有自然或在制造、測試、運輸、搬運、儲存、安裝和拆卸操作過程中遇到的誘發(fā)環(huán)境后仍然能夠達......

詳細介紹

- 主要特點-

KD5100納米級差動電渦流傳感器特點:

?(1)、每通道兩個精確匹配的傳感器使分辨率達到1nm;
(2)、超耐熱,長時間穩(wěn)定1.27x10-4mm/月或更好;
(3)、有耐低溫傳感器;
(4)、超高靈敏度,到394 mV/µm;
(5)、低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情況下);
(6)、探頭和控制器都可用于低至 10-6Torr 真空應用;
(7)、小尺寸2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。

對于被測物的要求:

1、 材料: KD5100不可以檢測鐵、鎳和它們的許多合金(磁性導電的被測物);鋁是的目標材料。只要遵守目標厚度指南,您就可以將鋁目標安裝在溫度特性更穩(wěn)定的材料上,例如 Invar 或其他基板。 -- PS:可根據客戶項目要求,直接使用除鋁以外的目標材料進行校準。

2、厚度:為避免目標溫度變化引起的變化,被測物的最小厚度應至少為三個趨膚深度。在傳感器彼此相對的情況下,鋁目標厚度必須至少為 0.050 英寸,以防止傳感器相互作用。

3、尺寸:最小目標橫截面必須是傳感器直徑的 1.5 2 倍。

-應用領域-

KD5100納米級差動電渦流傳感器應用領域:

差動測量: 兩個精確匹配的傳感器被放置在被測物平臺兩側,這兩個傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端,這個結構提供了的線性和熱穩(wěn)定性,所以其輸出準確地記錄了線性的最微小移動。如激光反射鏡聚焦平臺定位。

低溫應用: 20N傳感器有一個專門的低溫應用版本,它有一個內部伸縮接頭,當用螺絲安裝一個貝勒維爾墊圈后,可有效消除壓力或溫度引起的機械變性。已證明其在70°K的液態(tài)氮中有異的性能。好幾個空間項目在4°K的液態(tài)氦環(huán)境中使用了此傳感器。

真空應用: 傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應用中了。

超高精度宇航應用: 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標準的。KD-5100在戰(zhàn)斗環(huán)境下超過55,000小時,太空飛行環(huán)境下超過238,000小時。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可應用于空間狹小的場合。

商業(yè)差動: DIT5200差分系統(tǒng)就是KD5100的一個商業(yè)版本。此系統(tǒng)大大減小了微分系統(tǒng)的成本,又保持了性能優(yōu)勢。在重量、大小和能耗沒有特殊限定的情況下,這些差動系統(tǒng)是。

中繼鏡片激光定位(RME): RME演示了一束從地球發(fā)射到450公里軌道上人造衛(wèi)星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標地面。 KD5100被用于精確定位60cm的中繼鏡片,其精度高于試驗目標的16倍,視線穩(wěn)定度高2.3倍。

半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦: 激光微注技術被用于開發(fā)半導體圓晶片制造中的“直接寫入"應用和高吞吐量模板圖案應用,而且還被融合進0.1微米工藝的產品中。KD5100就被應用到此技術中,精確控制激光的位置,完成超高精確位置、關鍵尺寸和對齊控制。

其它應用:精確望遠鏡定位、磁懸浮軸定位。

- 技術規(guī)格-

KD5100納米級差動電渦流傳感器技術規(guī)格:

- 測量原理-

KD5100納米級差動電渦流傳感器測量原理:

差分測量系統(tǒng)是精密測量技術的重大進步。 它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度,用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

對于差分測量應用,每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關系中,當目標遠離一個傳感器時,它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。 同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了的熱穩(wěn)定性。


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