小型勻膠機(jī) 型號(hào)：EZ4

EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。 
　　EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。 

產(chǎn)品性能參數(shù)： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶） 

速度可調(diào)范圍：100-10000rpm 
加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s 
轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm  
轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm 
可編程5組5步程序  
寬電壓輸入：AC100-230V 

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)： 


75W 直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制 
高清晰文本顯示器  
可單步和多步勻膠操作 

PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換  
鋁合金陽(yáng)極氧化外殼，美觀大方  
耐溶劑PC透明蓋  
多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)  
HDPE真空吸盤 
產(chǎn)品外型尺寸： 250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)