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熱式質(zhì)量流量計在燃燒裝置、能源計量、工業(yè)窯爐等多種領(lǐng)域已得到廣泛應用，對提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低損耗、節(jié)約能源等諸方面發(fā)揮重要作用。現(xiàn)在將照明行業(yè)的各種燈泡，電子行業(yè)的陰極射線顯像管(CRT)以及醫(yī)藥行業(yè)的安瓿管封口用燃燒裝置作為一種較為典型的應用示例進行說明。

上述玻璃封口的傳統(tǒng)工藝大多是由操作人員邊觀察火焰、邊手動調(diào)節(jié)針閥，使火焰滿足工藝要求。這需要有非常豐富經(jīng)驗的操作人員才能做到。然而，這種人工操作方法很容易受到燃氣壓力與燃燒器背壓變化而引起火焰溫度、位置、形狀的變化，造成產(chǎn)品質(zhì)量的不穩(wěn)定，并在加工空隙(待工時間)時因燃燒火焰與加工時同樣大小，造成燃氣等能源的浪費。

現(xiàn)在采用新一代熱式質(zhì)量流量計控制器，通過控制燃氣、空氣、氧氣的流量來控制燃燒器的火焰。由于新一代熱式質(zhì)量流量計的響應速度極快，克服了燃氣壓力及燃燒器背壓的變化等擾動引起的影響，使產(chǎn)品的封口質(zhì)量非常穩(wěn)定。同時，通過CMQ的外部接點遠程控制功能，使瞬時流量設定值根據(jù)工藝要求進行遠程切換，特別在待工時間，可切換到較小瞬時流量設定值，以節(jié)約燃氣。

新一代熱式質(zhì)量流量傳感器是以硅片為基礎(chǔ)，采用微機械加工技術(shù)與薄膜技術(shù)制成的固態(tài)傳感器。以其為核心制成的熱式氣體質(zhì)量流量計已受到廣大用戶的青睞。但是，目前的產(chǎn)品還不太適合腐蝕性氣體介質(zhì)與對傳感器表面清潔度要求較高等場合，其不足之處正在改進中。