電子級(jí)HF,屬于超凈高純?cè)噭?,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過(guò)程中*的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒、無(wú)機(jī)殘留物和碳沉積物。電子級(jí)硫酸的純度和潔凈度對(duì)電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。
從純度上來(lái)講,電子級(jí)和分析純的化學(xué)品,相對(duì)于普通化學(xué)品,其純度都很高,雜質(zhì)含量少,但是兩個(gè)屬于不同的標(biāo)準(zhǔn)體系,對(duì)雜質(zhì)的關(guān)注點(diǎn)不一樣。 電子級(jí)是對(duì)用于電子元器件生產(chǎn)過(guò)程中使用的化學(xué)品的一種泛指,相對(duì)于一般工業(yè),其純度要求更高,尤其是平板顯示行業(yè)或者半導(dǎo)體行業(yè)。其更每種化學(xué)品更中的有害雜質(zhì)含量,金屬離子,固體顆粒等等。用于半導(dǎo)體工業(yè)的電子級(jí)化學(xué)品純度一般比分析純的化學(xué)試劑更高,可參考SEMI相關(guān)化學(xué)品的標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于芯片生產(chǎn)過(guò)程來(lái)說(shuō),一般情況下,純度會(huì)在99.999%數(shù)量級(jí),12寸芯片生產(chǎn)可能會(huì)用到99.999999999%純度的化學(xué)品。 分析純是化學(xué)試劑的一個(gè)純度標(biāo)準(zhǔn),這個(gè)系列里包括 優(yōu)級(jí)純,分析純,化學(xué)純和實(shí)驗(yàn)純。其中分析純干擾雜質(zhì)很少,適用于工業(yè)分析及化學(xué)實(shí)驗(yàn),比如用于滴定之類的分析。
在復(fù)雜的芯片生產(chǎn)工藝中,鹽酸也是*的試劑。
電子級(jí)HF生產(chǎn)工藝技術(shù)特征
1. 雜質(zhì)砷是電子級(jí)HF中需要控制的一種重要雜質(zhì)指標(biāo),在HF原料中砷一般以三價(jià)態(tài)形式存在,而且AsF3與HF的沸點(diǎn)相差不大,所以僅靠精餾對(duì)其分離的效果不會(huì)十分理想。為去除雜質(zhì)砷,可在精餾前,加入適量的強(qiáng)氧化劑(如高錳酸鉀等)將三價(jià)態(tài)的砷進(jìn)行氧化,使其在精餾過(guò)程中沉積于塔釜中而被除去。
2. 生產(chǎn)設(shè)備與工藝:生產(chǎn)設(shè)備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料,生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化,采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。
3. 高純水制備:通過(guò)離子交換與過(guò)濾器先制得普通純水,再經(jīng)過(guò)反滲透、電滲析后進(jìn)入殺菌、超微過(guò)濾制得高純水。
4. 在無(wú)水HF預(yù)處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設(shè)置HF有毒氣體濃度探測(cè)、集中報(bào)警系統(tǒng)。
5. 設(shè)置尾氣吸收塔、堿吸收塔,尾氣可達(dá)標(biāo)排放。
電子級(jí)HF質(zhì)量指標(biāo)
目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)HF要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;③中高檔產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;④高檔產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。
產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。
SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)標(biāo)準(zhǔn)化組織根據(jù)高純?cè)噭┰谑澜绶秶鷥?nèi)的實(shí)際發(fā)展情況,按品種進(jìn)行分類,每個(gè)品種歸并為一個(gè)指導(dǎo)性的標(biāo)準(zhǔn),其中包括多個(gè)用于不同工藝技術(shù)的等級(jí)
E-Scan系列電子級(jí)HF濃度在線分析儀采用臨界角檢測(cè)原理,檢測(cè)不受物料的顏色,渾濁度,氣泡,固體顆粒等雜質(zhì)的影響、具備高精度的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式,全屏蔽抗干擾設(shè)計(jì),光電信號(hào)直接轉(zhuǎn)換處理。摒棄一體式不耐振動(dòng)和高溫的影響的缺點(diǎn),保障了在線測(cè)量的精度及延長(zhǎng)儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導(dǎo)系統(tǒng),擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測(cè)糖度儀的運(yùn)行狀態(tài)。
E-Scan系列電子級(jí)HF濃度在線分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上,進(jìn)行濃度監(jiān)測(cè)和控制,可以直接顯示質(zhì)量*(Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位,現(xiàn)場(chǎng)顯示并可以模擬信號(hào)(RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、打印、追溯等功能;通過(guò)4-20ma信號(hào)遠(yuǎn)傳至plc/dcs /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。
E-Scan系列電子級(jí)HF在線分析儀擁有以下特征:
●316ss材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃;
●免維護(hù)、無(wú)耗材、無(wú)漂移、自診斷功能,智能報(bào)警信號(hào)輸出功能;
●防護(hù)等級(jí):NEMA4X(IP67);
●自動(dòng)溫度補(bǔ)償(軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫(kù)和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫(kù));
●多組4-20maA模擬信號(hào)及數(shù)字信號(hào)輸出(隔離,非隔離可選);
●3648高分辨率的CCD;
●多種報(bào)警信息輸出顯示(高低/高高/低低/偏差);
●可循環(huán)的干燥劑,無(wú)耗材,免維護(hù);
●光源為589nmled燈,壽命長(zhǎng)達(dá)100000小時(shí);
●安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon;
●高精度,高品質(zhì)“美國(guó)制造”