產(chǎn)品點
四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法家標準并參考美A.S.T.M 標準的半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試用儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開關控制，及各種工作狀態(tài)LED指示。應用微計算機，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。


測量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□（可擴展/extended range） 方塊電阻（薄層電阻） /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω
可測晶片直徑（Z大） φ100mm（標配），方形230×220mm（Z大）
Z大電阻測量誤差（按JJG508-87）
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機：約4kg 　　測試臺：約5kg
測試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65％； 無頻干擾 無強光照射
電源 220V±10%（50Hz） 功耗≤35W
備注 具備電腦接口