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按其結(jié)構(gòu)可分為體型和結(jié)構(gòu)兩大類。體型的有霍爾傳感器,也叫零功耗磁敏傳感器,其主要材料InSb(銻化銦)、InAs(砷化銦)、Ge(鍺)、Si、GaAs等和磁敏電阻InSb、InAs。
轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器的應(yīng)用
轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器能將角位移轉(zhuǎn)換在成電脈沖信號,供二次儀表使用,主要為鐵路高速列車防滑系統(tǒng)配套。
具有測量范圍寬,安裝簡便,輸出幅值大,工作溫度范圍寬,抗振性好等優(yōu)點,供抵速測量用戶,特別是使用溫度可以從-10~+65℃,適用范圍較廣,配用其它二次儀表也十分方便。
從轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器看磁敏傳感器的發(fā)展特點
1.集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)應(yīng)用于磁敏傳感器,制成集成磁敏傳感器。
2.InSb 薄膜技術(shù)的開發(fā)成功,使得霍爾器件產(chǎn)能劇增,成本大幅度下降。
3.強磁體合金薄膜得到廣泛應(yīng)用。各種磁阻器件出現(xiàn),應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
4.非晶合金材料的應(yīng)用。與基礎(chǔ)器件配套應(yīng)用,大大改善了磁傳感器性能。
5.巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度,高穩(wěn)定性,引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。
6.Ⅲ—V 族半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料的開發(fā)和應(yīng)用。通過外延技術(shù),形成異質(zhì)結(jié)構(gòu),提高磁敏器件的性能。
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