MK47-PA－LAM系列三軸硅微MEMS低噪聲高精度加速度計(jì)用于測(cè)量三軸加速度的傳感器， 三軸中的每一軸加速度傳感器均采用高精度MEMS技術(shù)芯片，具有高性能、低價(jià)位、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具備溫度傳感器輸出、自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)和BIT（Built-In-Test）?？捎糜谄嚋y(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控、科研、傾斜、速度和位置的測(cè)量、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)。
　2.供電：輸入電壓　?。╒dc） ±15 V注①
　　　　 輸入電流 　　（mA）<30 mA
　3.性能指標(biāo) 序號(hào)性能AxAyAz
1測(cè)量范圍（g）注② ±25±25±25
2零g偏置電壓（V）0.0±0.10.0±0.10.0±0.1
3靈敏度（mv/g）160160160
4滿量程輸出（V） 注③±4
5輸出噪聲
（差分RMS:g/） 25
6偏置溫漂（ppm of span）/°C? 50 （ -55 to +125°C全溫范圍內(nèi)）
7刻度因數(shù)溫漂（ppm/°C）<250 （ -55 to +125°C全溫范圍內(nèi)）
8非線性 （%FS）≤0.3
9交叉耦合（%）<3
10帶寬 （K Hz，max）0~1.5
11體積（mm3）30.5×30.5×31.25mm3
12工作環(huán)境
使用溫度（℃）－55～＋125
耐加速度（g，通電，0.1ms）2000

注： ①也可選擇+5V單電源供電。
②X、Y、Z三個(gè)軸中任一軸的加速度傳感器均可根據(jù)用戶不同要求，提供下列任一量程:
±2g、±5g、±10g、±50g、±100g、200g和400g。
③0g輸出電壓也可做成2.5±0.2V，此時(shí)傳感器的輸出靈敏度為原來值的一半，相應(yīng)的滿量程輸出值為0.5~4.5V。