產(chǎn)品名稱：多靶磁控濺射鍍 多層功能膜鍍膜機
產(chǎn)品型號: HG18-JJC
產(chǎn)品編號: 28319

多靶磁控濺射鍍 多層功能膜鍍膜機  的詳細(xì)介紹

該鍍膜機主要用于科研實驗，可制備納米級和微米級的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、光學(xué)膜、
金屬膜、鐵磁薄膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
該鍍膜機為前開門式設(shè)計，功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。真空室材料均采用
優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規(guī)范、精致，保證了材料的成膜純度。
采用分子泵+直聯(lián)機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。
◆ 鍍膜方式：可實現(xiàn)多靶共濺模式
◆ 磁控靶：圓柱/平面靶；
◆ 進氣系統(tǒng)：三路質(zhì)量流量計；
◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；
◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7X10-4 Pa （40分鐘）；
◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統(tǒng)：數(shù)顯復(fù)合真空計；
◆ 工作電源：直流電源500W；射頻電源500W（13.56MHz）；加熱控溫電源；
◆ 工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）；
◆ 選配件：石英晶振測厚儀、冷卻水機組等；
◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。