產(chǎn)品名稱：箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機 箱式電子束蒸發(fā)鍍膜裝置
產(chǎn)品型號: HG16-ZZS
產(chǎn)品編號: 28316

箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機 箱式電子束蒸發(fā)鍍膜裝置  的詳細介紹

該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，該鍍膜機功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。
鍍膜機的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規(guī)范、精致，具有高真空度、高清潔度，可以保證材料的成膜純度。
采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。配備270OE型電子束蒸發(fā)源，電源穩(wěn)定，控制精度高，帶有高壓自動滅弧復位裝置，操做簡便，性能可靠。
適合大學物理、材料、化學等領(lǐng)域的學生實驗及教師科學研究。
◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；
◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復真空：從大氣抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；
◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統(tǒng)：數(shù)顯復合真空計；
◆ 蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：E型電子槍，功率0～6KW可調(diào)；電阻蒸發(fā)源：功率3kW/10V兩組；
◆ 工件烘烤溫度：室溫～350℃可控可調(diào)（PID控溫）；
◆ 選配件：光學膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等；
◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。