產(chǎn)品名稱：箱式多弧磁控鍍膜機 鍍制合金膜裝置
產(chǎn)品型號: HG14-DZX
產(chǎn)品編號: 28315

箱式多弧磁控鍍膜機 鍍制合金膜裝置  的詳細介紹

該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點。

◆ 真空室：鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前開門結(jié)構(gòu)；
◆ 抽氣系統(tǒng)：機械泵：前級泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150；
擴散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）
◆ 極限真空：5×10-4Pa；恢復(fù)真空：5×10-3 Pa（小于20min）;
◆ 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
◆ 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源，條形離子源（選配）；
◆ 膜厚測量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)（選配）；
◆ 進氣系統(tǒng)：自動壓強控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)；
◆ 操作方式：手動按鍵式；
控制系統(tǒng)配置：研華工控機，80G硬盤，512內(nèi)存+日本三菱PLC；10英寸液晶顯示；觸摸屏界面；
◆ 旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具，速度從 0～15r/min 無級可調(diào)；
◆ 工件烘烤：室溫～300℃；
◆ 供電電源: 三相380V，50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。