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德國C1光譜共焦納米級位移計

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產(chǎn)品型號德國C1

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更新時間:2018-05-15 14:08:44瀏覽次數(shù):526次

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C1光譜共焦納米級位移計,納米級分辨率,透明非透明體測量

德國C1光譜共焦納米級位移計
傳感器測量系統(tǒng)基于光譜共焦原理,由光學(xué)頭和控制器組成,之間通過一根光纜連接。光纜長度可根據(jù)用戶需要配制,標(biāo)準(zhǔn)2米,zui長10米.

原理:
鹵素?zé)舭l(fā)出的全色白光由光學(xué)透鏡組分離成色譜,色譜中被精確聚焦的單色光沿軸向紅、黃、綠、有序精確排列,每一個單色光的波長代表一個精確的空間軸向位置。測量時,單色光在被測體表面形成的焦點,被反射到控制器中光譜空間濾波器檢出,由頻譜分析儀處理,被測體表面這一聚焦點上的光波波長被精確檢出,軸向空間位置也就被精確檢出。其波長測量原理決定分辨率高達納米級。

特點:
*納米級分辨率;與光強度無關(guān),即于被測體反射系數(shù)無關(guān);
*適用各種金屬、非金屬,以及透明材料的表面位置、位移測量。并與被測體表的亮暗無關(guān);
*精致緊湊光路結(jié)構(gòu),光學(xué)傳感器頭離控制器幾米遠,給使用帶來方便;
*單向可測玻璃厚度、透鏡厚度,以及透明薄膜厚度測量;
*與三角反射法不同,幾乎無反射角要求,且無反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測量;
*對環(huán)境要求不高:無需附加背景光,對被測體溫度不敏感, 對被測體表面色差和紋理不敏感;

應(yīng)用:
納米級的測量精度,對被測表面無特殊要求,無論是漫反射或全反射被測表面都能檢測。特別適合玻璃等透明物體表面平整度,及厚度測量;
小孔深度測量;透明、非透明液面測量:

指標(biāo):
量程0.3 mm
分辨率25 nm
線性0.5%
重復(fù)性10 nm
測量間隙4 mm
光源鹵素?zé)?5W
光斑直徑9µm
測量垂直度90º±25º
響應(yīng):30HZ~1500HZ
輸出:數(shù)據(jù)接RS232,模擬0-10V
重量:傳感器約30g,儀器約4Kg

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