PARKER直動(dòng)式壓力閥,派克直動(dòng)式壓力閥
實(shí)現(xiàn)Z系統(tǒng)性能。加之 VSO? 低流量微型比例閥能夠在各種介質(zhì)上實(shí)現(xiàn)控制，
因此是氣相色譜和質(zhì)譜設(shè)備制造商的之選。
 ? 能夠?qū)崿F(xiàn)的低流量 (0 - 500 sccm) 控制，
清潔度  經(jīng)過(guò)分析的清潔（Analytically Clean） 
閥門(mén)配置類(lèi)型  2路常閉 
提高儀器準(zhǔn)確度 ? 通過(guò)熱補(bǔ)償在各種介質(zhì)中保持流量
泄漏率  <0.2 SCCM的氦氣 
功耗（W）  Z大功率2.0瓦 
重量（磅）  2.2 oz (62.9g)
低流量閥為要求流量控制在 0 - 500 sccm 之間的應(yīng)用提供增強(qiáng)型流量控制。

PARKER直動(dòng)式壓力閥,派克直動(dòng)式壓力閥

和 VSO 微型比例閥一樣，
VSO? 低流量微型比例閥可提供與輸入電流成正比的氣體流量控制。
閥門(mén)可通過(guò)直流電流或脈寬調(diào)制電流配合閉環(huán)反饋進(jìn)行控制，
? 計(jì)算機(jī)自動(dòng)校準(zhǔn)和序列化，實(shí)現(xiàn)了性能可追蹤性 ? 已清洗，
可用于氧氣和分析 ? 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的性能，
開(kāi)關(guān)循環(huán)數(shù)可達(dá) 1000 萬(wàn) ? 符合 RoHS 指令 典型應(yīng)用：

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