CKD氣控閥,喜開(kāi)理氣控閥樣本
：使用前請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與使用流體及周邊環(huán)境是否適用。
注2 ：使用氫氟酸或者含有氫氟酸的化學(xué)液體時(shí)，
請(qǐng)?jiān)?~80°C范圍內(nèi)使用。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件，溫度范圍變?yōu)?~100°C。
Cv值是溫度為23°C時(shí)的值。
使用流體純水、化學(xué)液體、空氣、氮?dú)猓ㄗ?）
流體溫度°C 5~120 （注2、注3）
耐壓MPa 1.0
使用壓力（A→B） MPa 0~0.5

CKD氣控閥,喜開(kāi)理氣控閥樣本

在使用半導(dǎo)體以及LCD制造的清潔化學(xué)液體（包括純水）的設(shè)備
內(nèi)，用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥
■對(duì)異物非常敏感的內(nèi)置型過(guò)濾器
■流量、壓力特性良，安裝簡(jiǎn)單
■良的耐腐蝕性
接液部位使用氟樹(shù)脂（PFA、PTFE）和SUS316，可發(fā)揮良的耐腐蝕性
■壓力及流量特性
使用氟樹(shù)脂膜片，與金屬膜片相比，壓力和流量特性更加
■由于過(guò)濾器為內(nèi)置型，更能流體內(nèi)無(wú)異物，更安全
■采用面板安裝，使安裝過(guò)程更加容易，也可以在底部進(jìn)行安裝
使用壓力（B→A） MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時(shí))
背壓MPa 0~0.5
環(huán)境溫度°C 0~60
CKD氣控閥,喜開(kāi)理氣控閥樣本