CKD二位五通防爆型導(dǎo)電磁閥設(shè)計(jì)圖，4F210-08-DC24V 

凈化度 （注2）  軸組合形式 適應(yīng)控制器 驅(qū)動(dòng)電機(jī) 驅(qū)動(dòng)方式 行程（mm） Z大可搬（kg）
速度（mm/s）
位置重復(fù)精度（mm）／分解能（mm）
所需真空壓（kPa）
排出空氣用吸氣口 （空氣管道用接頭）
對(duì)應(yīng)100（塵規(guī)格0.3μm以上） 單軸或正交X-Y臺(tái)形　滑塊向上水平設(shè)置 CA10－M10, CA10－M00, CA10－S10
研磨滾珠絲桿　C7（φ15mm、導(dǎo)線20、10、5mm）    100 ～ 1050　　
小型AC伺服電機(jī)　100 小型AC伺服電機(jī)　100W,200W
滾珠絲桿導(dǎo)線20mm 滾珠絲桿導(dǎo)線10mm 滾珠絲桿導(dǎo)線  5mm
直軸 V型軸 直軸 V型軸 直軸 V型軸
凈化度測(cè)定環(huán)境 測(cè)定室凈化度 測(cè)定器
表面處理

CKD二位五通防爆型導(dǎo)電磁閥設(shè)計(jì)圖，4F210-08-DC24V 
使用潤(rùn)滑脂
所需吸出空氣量（N   /min）
樣品流量 被測(cè)軸行程 動(dòng)作模式
■凈化度測(cè)定點(diǎn)與發(fā)塵量
測(cè)定條件
■速度與發(fā)塵量
0 50 100 200 400 600 800 10000
軸速度：（50～1000mm／s） 被測(cè)定軸形式：KBA-10A - ST - M20N - 60 - C
軸速度（ mm／s ）
測(cè)定軸部分的3點(diǎn)
0.3μm以上 的發(fā)塵量（個(gè)）
軸   速   度 ： 400mm／s　　 加減速時(shí)間 ： 0.3sec 空氣吸引量 ： 60N?。?分（KBA-10） 
150N　／ 分（KBA-30） 其              他 ： 測(cè)定環(huán)境根據(jù)規(guī)格規(guī)

CKD二位五通防爆型導(dǎo)電磁閥設(shè)計(jì)圖，4F210-08-DC24V