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行業(yè)產(chǎn)品

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北京東方中科集成科技股份有限公司


E系列 手動探針臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間：2024-03-30 14:14:53瀏覽次數(shù)：131次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：1496條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：東方集成 （市場推廣）

產(chǎn)品簡介

E系列是一款功能進階級探針臺，能實現(xiàn)1μm以上的電極Pad測試，可通過較低的成本升級更多的測試功能。

詳細(xì)介紹

E系列是一款功能進階級探針臺，能實現(xiàn)1μm以上的電極Pad測試，可通過較低的成本升級更多的測試功能。

 

產(chǎn)品亮點

 

  • 卡盤可升降調(diào)節(jié)，便于樣品快速分離探針
  • 標(biāo)配金相顯微鏡，達到1μm以上的Pad測試
  • 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
  • 顯微鏡氣動式快速升降
  • 便于更換顯微鏡和探針卡夾具
  • POMater自適應(yīng)隔震底座
  • 采用德國進口隔震材料，提高測試穩(wěn)定性

 

產(chǎn)品參數(shù)

 

型號 E4 E6 E8 E12
外形（長*寬*高/mm） 680*670*760mm 680*670*760mm 750*670*800mm 1030*800*850mm
重量（KG） 約90kg 約95kg 約110kg 約210kg
電力需求 220VC,50~60Hz
卡盤
常溫標(biāo)準(zhǔn) 		卡盤尺寸 4" 6" 8" 12"
樣品固定方式 環(huán)形及多孔真空吸附（可定制）
背電極測試功能 有，樣品臺電學(xué)獨立懸空
卡盤材質(zhì) 316#不銹鋼（可選黃銅鍍鎳or鍍金）
卡盤
移動平臺 		Theta行程 360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；可旋轉(zhuǎn)微調(diào)，微調(diào)精度0.002°
卡盤升降 卡盤臺可以上下快速升降5mm，微調(diào)升降行程6mm，精度1μm
X-Y行程 100*100mm 150*150mm 200*200mm 300*300mm
移動精度 10μm
卡盤快速拉出 N/A
控制方式 小型旋鈕驅(qū)動
針座平臺 外形尺寸 長550mm*寬405mm 長720mm*寬405mm 長980mm*寬480mm
卡盤到平臺距離 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）?
針座數(shù)量 最多可放6個針座 最多可放8個針座 最多可放10個針座
針座平臺升降 N/A
針座定位方式 磁力吸附或真空吸附
光學(xué)特性 鏡頭規(guī)格 標(biāo)配PSM-1000金相顯微鏡/可選（GX-6金相，體視，視頻）顯微鏡
放大倍數(shù) 20-2000X
CCD像素 3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字）
運動控制 Z 軸移動行程 50.8 mm，同軸旋鈕調(diào)節(jié)，細(xì)調(diào)精度優(yōu)于1μm
顯微鏡行程 顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內(nèi)移動
顯微鏡移動精度 1μm
點針規(guī)格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm
機械精度 10μm/2μm/0.7μm
漏電精度 10pA/100fA （配置屏蔽箱時）
接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口

（*規(guī)格和設(shè)計如有更改，恕不另行通知。）


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