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行業(yè)產(chǎn)品

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北京東方中科集成科技股份有限公司


H系列 手動(dòng)探針臺(tái)

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更新時(shí)間：2024-03-30 14:16:41瀏覽次數(shù)：146次

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商鋪產(chǎn)品：1496條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：東方集成 （市場(chǎng)推廣）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SEMISHARE研發(fā)的卡盤移動(dòng)技術(shù)，可滿足您對(duì)整片晶圓快速測(cè)試的需求，H系列探針臺(tái)非常適合研發(fā)類實(shí)驗(yàn)室的一次性預(yù)算購(gòu)置。

詳細(xì)介紹

SEMISHARE研發(fā)的卡盤移動(dòng)技術(shù)，可滿足您對(duì)整片晶圓快速測(cè)試的需求，H系列探針臺(tái)非常適合研發(fā)類實(shí)驗(yàn)室的 一次性預(yù)算購(gòu)置。

 

產(chǎn)品亮點(diǎn)：H系列手動(dòng)探針臺(tái)

 

  • 三段式可升降針座平臺(tái)
  • 便于定位，快速分離樣針
  • 標(biāo)配金相顯微鏡，達(dá)到1μm以上的Pad測(cè)試
  • 可搭載激光器進(jìn)行FA失效分析/激光切割
  • 氣控式卡盤移動(dòng)技術(shù)，可快速拉出卡盤

 

產(chǎn)品參數(shù)：H系列手動(dòng)探針臺(tái)

 

卡盤移動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)配置）

XY行程范圍 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm
XY行程 300mm x 300 mm（滿足大范圍行程測(cè)試）
移動(dòng)精度/分辨率 < 1.0 µm (~1 mm/rev)
平面性 ±5µm
theta行程 粗調(diào)：360°
微調(diào)精度：± 8.0°
分辨率：7.5 x 10-3 gradient
運(yùn)動(dòng)控制 氣控+大手柄控制
Z軸快速升降 快速升降：3mm
微調(diào)升降：0-13mm,精度：≤2µm

 

手動(dòng)顯微鏡平臺(tái)

移動(dòng)范圍 50 mm x 50 mm
移動(dòng)分辨率 ≤2µm
顯微鏡Z升降 25mm-100mm *取決于顯微鏡配置
氣動(dòng)升降50mm
運(yùn)動(dòng)控制 獨(dú)立控制的X和Y旋鈕

 

針座平臺(tái)

材料 鋼鍍鎳
針座數(shù)量 8 DC and 4 RF(取于針座配置)
卡盤到針座平臺(tái)下底面距離 8mm（卡盤上表面與針座平臺(tái)下表面）
Z-height運(yùn)動(dòng)范圍 Max.0-40mm (取于卡盤配置)
針座平臺(tái)升降 3段：分離(300µm)，卡盤裝載(2-5mm),不間斷升降（0-40mm)
接觸重復(fù)性 < ±1µm
RF 針座固定 磁力吸附/真空吸附
DC 針座固定 磁力吸附/真空吸附

（*規(guī)格和設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。）


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