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行業(yè)產(chǎn)品

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北京東方中科集成科技股份有限公司


CG系列 真空高低溫探針臺

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更新時間：2024-03-30 14:21:29瀏覽次數(shù)：182次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：1496條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：東方集成 （市場推廣）

產(chǎn)品簡介

CG系列探針臺可提供在超高真空與高低溫轉(zhuǎn)換的環(huán)境下， 實現(xiàn)對器件及材料表征的IV/CV特性測試、射頻測試、光電 測試、電磁輸運特性及霍爾效應(yīng)等測試。 通過設(shè)置真空腔、防輻射屏等結(jié)構(gòu)，能夠有效的營造一個集 成高溫、低溫、真空等測試環(huán)境，能夠為生產(chǎn)出來的半導(dǎo)體器件提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

詳細介紹

CG系列探針臺可提供在超高真空與高低溫轉(zhuǎn)換的環(huán)境下， 實現(xiàn)對器件及材料表征的IV/CV特性測試、射頻測試、光電 測試、電磁輸運特性及霍爾效應(yīng)等測試。 通過設(shè)置真空腔、防輻射屏等結(jié)構(gòu)，能夠有效的營造一個集 成高溫、低溫、真空等測試環(huán)境，能夠為生產(chǎn)出來的半導(dǎo)體器件提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

 

產(chǎn)品亮點：CG系列真空高低溫探針臺

 

  • 可支持4.2K-450K溫度
  • 防輻射屏設(shè)計，提高樣品溫度均勻與準確性
  • 探針熱沉設(shè)計，保證精準落針
  • 可升級加載磁場
  • 靈活且可擴展的測試應(yīng)用配置
  • 自動冷媒流量控制，自動精準控溫

 

產(chǎn)品參數(shù)：CG系列真空高低溫探針臺

 

型號 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG-C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 約170KG 約190KG 約290KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
樣品臺 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
樣品固定方式 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片
樣品臺移動 固定的樣品臺
真空度 10^-10torr真空
光學(xué)特性 顯微鏡行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍數(shù) 變焦：7:1分辨率4μm (放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡（20X~1000X）
真空腔觀察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
溫控
規(guī)格 		制冷方式 液氮/液氦 制冷壓縮機
控制方式 開循環(huán)手動/自動冷媒流量控制 閉循環(huán)自動控制
控溫范圍 77K~450K 4.2K~450K
控溫分辨率 0.001K
溫度穩(wěn)定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.08K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可選） 973K ±1.0K(可選）
常溫到8K冷卻時間 90min 150min
8K到常溫升溫時間 90min 90min
常溫開始的升溫時間 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加熱電源 LVDC 低壓直流
傳感器 硅二極管
傳感器數(shù)量 樣品臺，防輻射屏，探針臂各一個
功率 50W/100W/500W/1000W
點針規(guī)格 探針數(shù)量 2個/4個/6個
探針調(diào)節(jié) 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制
點針精度 2微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式 三軸/SMA/K/光纖接口
可選附件 防震桌
多級壓縮制冷機
機械泵/分子泵組/離子泵
射頻部件
Chuck運動裝置
電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
1Mpa正壓系統(tǒng)升級
超高溫升級選件
超高真空升級選件
客戶特殊定制

（*規(guī)格和設(shè)計如有更改，恕不另行通知。）


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