RTS-7型二探針測試儀
RTS-7型二探針測試儀是運(yùn)用二探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測試半導(dǎo)體材料縱向電阻率的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺、二探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-7型二探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm； |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； |
二探針探頭基本指標(biāo) | 間距：3mm（可選其它間距）；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3％；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
二探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
測試架 | 配置T-2A測試架，兩端電極Ф8mm～20mm（可選其他尺寸訂做） |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射； |
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