高溫超導薄膜單晶基片SrTiO3 鈦酸鍶
鈦酸鍶（SrTiO3）是當前應(yīng)用zui廣的高溫超導單晶基片之一。它與YBaCuO等高溫超導材料的晶格匹配好，無孿晶結(jié)構(gòu)，物理、機械性能優(yōu)良。使用多種制膜技術(shù)（如磁濺射，脈沖激光沉積，激光分子束外延等）制作的多種高溫超導薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指標。SrTiO3也是高溫超導結(jié)技術(shù)（使用雙晶基片或臺階狀基片）及基片臺階化（按特定角度斜切并熱處理）的單晶材料。
主要技術(shù)指標:
晶系 | 立方晶系 |
晶格常數(shù)（ ） | a=3.905 |
熔點（℃） | 2080 |
密度（g/cm3 ） | 5.122 |
比熱（cal/g ℃） | 0.13 |
莫氏硬度 | 6-6.5 |
熱膨脹系數(shù)（/ ℃） | 9.4x10-6 |
介電常數(shù) | ε∞= 5.20 |
特點 | 與YBCO（3.866）匹配 |
生長方法 | 火焰法 |
基片規(guī)格：
| 尺寸: | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
| Ф15,Ф20，Ф25 等 |
| 或按用戶要求特殊加工 |
| 厚度: | 0.5mm，1.0mm |
| 尺寸公差: | <±0.1mm |
| 厚度公差: | <±0.015mm(特殊要求可達到<±0.005mm) |
| 表面拋光: | 單面或雙面 |
| 取向： | ＜100＞ ＜110＞ ＜111＞ 等； |
| 晶面定向精度: | ±0.5° |
| 邊緣定向精度: | 2°（特殊要求可達1°以內(nèi)） |
| 斜切晶片： | 可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片 |
| Ra | ≤5Å（5µm×5µm） |
