壓力傳感器MPM388壓力變送器
1、什么是硅諧振式傳感器？它是如何工作的？ 硅諧振式傳感器是日本橫河公司EJA智能變送器中的敏感元件。它是一種微型構件，體積小，功耗低，響應快，便于和信號處理部分集成。如圖中所示為硅諧振式傳感器中的核心部分——硅諧振梁結構。它是在一塊單晶硅芯片上，采用三維表面微機械加工技術，加工成形狀大小*相同的兩個H型諧振梁，一個在硅片的*，另一個在硅片的邊緣。當硅片受到壓力作用時，將產生應 變和應力，兩個諧振梁也伴隨膜片產生相應的應力。但由于它們在膜片上所處的位置不同，它們的應力是不一樣的，一個受壓，一個受拉，于是它們的諧振固有頻率也就發(fā)生變化。利用測量兩個諧振梁的頻率之差，即可得到被測介質的壓力或壓差。 硅諧振式傳感器中的硅梁、規(guī)膜片、空腔被封在微型真空中，使它既不能與充灌液接觸，又在振動時不受空氣阻力的影響，所以用它制成的儀表性能穩(wěn)定。
2、在EJA智能變送器中，通過何種方法激勵硅諧振子的振動和拾取其信號？ 在EJA智能變送器中，硅梁振動的激勵與信號的拾取是通過電磁的方式實現(xiàn)的。如圖所示，硅諧振梁處于*磁鐵提供的磁場中，通過激振線圈A的交變電流i 激發(fā)H型硅梁振動，并由拾振線圈B感應后送入自動增益放大器。放大器一方面輸出頻率，另一方面將交流電流信號反饋給激振線圈，形成一個正反饋閉環(huán)自激系統(tǒng)，從而維持硅梁連續(xù)等幅振
1、輸出不穩(wěn)定可能原因和解決方法：
（ l ）接線回路。檢查回路是否有間歇性短路、開路或多點接地現(xiàn)象；檢查加到變送器上的電壓是否合適；
（ 2 ）被測液體波動。調整電路的阻尼作用的大小。壓力傳感器MPM388壓力變送器
（ 3 ）檢查氣體導壓管內是否有液休，液體導壓管內是否有氣體。
（ 4 ）保證接插件接觸處清潔，檢查傳感器組件的接地情況。
（ 5 ）用備用電路板替代有故障的變送器電路板來判斷故障及更換有故障的電路板。 由于差壓變送器與壓力變送器測量應用上的相通性，本文中有些方法也同樣適用干壓力變送器的故障診斷。
1、差壓變送器的工作原理 來自雙側導壓管的差壓直接作用于變送器傳感器雙側隔離膜片上，通過膜片內的密封液傳導至測量元件上，測量元件將測得的差壓信號轉換為與之對應的電信號傳遞給轉換器，經過放大等處理變?yōu)闃藴孰娦盘栞敵?。差壓變送器的幾種應用測量方式：
（1） 與節(jié)流元件相結合，利用節(jié)流元件的前后產生的差壓值測量液體流量。
（2） 利用液體自身重力產生的壓力差，測量液體的高度。
（3） 直接測量不同管道、罐體液體的壓力差值。
2、 差壓變送器故障診斷 差壓變送器在測量過程中，常常會出現(xiàn)一些故障，故障的及時判定分析和處理，對正在進行了生產來說是至關重要的。我們根據日常維護中的經驗，總結歸納了一些判定分析方法和分析流程。
（1） 調查法：回顧故障發(fā)生前的打火、冒煙、異味、供電變化、雷擊、潮濕、誤操作、誤維修。
（2） 直觀法：觀察回路的外部損傷、導壓管的泄漏，回路的過熱，供電開關狀態(tài)等。
（3） 檢測法： 壓力傳感器MPM388壓力變送器 短路檢測：在保證安全的情況下，將相關部分回路直接短接，如：差變送器輸出值偏小，可將導壓管斷開，從一次取壓閥外直接將差壓信號直接引到差壓變送器雙側，觀察變送器輸出，以判斷導壓管路的堵、漏的連通性。 斷路檢測：將懷疑有故障的部分與其它部分分開來，查看故障是否消失，如果消失，則確定故障所在動。
