MPM4530 壓力變送器 應用領域
1、什么是硅諧振式傳感器？它是如何工作的？MPM4530 壓力變送器 應用領域 硅諧振式傳感器是日本橫河公司EJA智能變送器中的敏感元件。它是一種微型構件，體積小，功耗低，響應快，便于和信號處理部分集成。如圖中所示為硅諧振式傳感器中的核心部分——硅諧振梁結構。它是在一塊單晶硅芯片上，采用三維表面微機械加工技術，加工成形狀大小*相同的兩個H型諧振梁，一個在硅片的*，另一個在硅片的邊緣。當硅片受到壓力作用時，將產生應 變和應力，兩個諧振梁也伴隨膜片產生相應的應力。但由于它們在膜片上所處的位置不同，它們的應力是不一樣的，一個受壓，一個受拉，于是它們的諧振固有頻率也就發(fā)生變化。利用測量兩個諧振梁的頻率之差，即可得到被測介質的壓力或壓差。 硅諧振式傳感器中的硅梁、規(guī)膜片、空腔被封在微型真空中，使它既不能與充灌液接觸，又在振動時不受空氣阻力的影響，所以用它制成的儀表性能穩(wěn)定。
2、在EJA智能變送器中，通過何種方法激勵硅諧振子的振動和拾取其信號？ 在EJA智能變送器中，硅梁振動的激勵與信號的拾取是通過電磁的方式實現的。如圖所示，硅諧振梁處于*磁鐵提供的磁場中，通過激振線圈A的交變電流i 激發(fā)H型硅梁振動，并由拾振線圈B感應后送入自動增益放大器。放大器一方面輸出頻率，另一方面將交流電流信號反饋給激振線圈，形成一個正反饋閉環(huán)自激系統(tǒng)，從而維持硅梁連續(xù)等幅振動。
-------------------<咨*****詢*****方*****式>---------------------
安 徽 亨 利 儀 表 電 纜 有 限 公 司
：朱皓（）
：
：766496216
: 766496216
--------------------------------------------------------------------
