四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性

使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度

無耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設(shè)計(jì)，便于集成

四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)