四探針測試儀

型號；LDX-SZT-2A

1．SZT-2A 主機采用世界先的*電路設計，所測數值更精、更快、更準（一代為傳統(tǒng)式電路，缺點：體積大，速度慢，元器件繁多導致影響機器壽命）。

2．屏幕采用液晶顯示（一代為只有數碼管顯示）。

3．匹配電腦接口及軟件，讓操作簡便明了化（可直接連接電腦，電腦進行自動運算根據輸入厚度，自動比照并修正系數，使被測結果更精確，數據可儲藏或刪除，利于使用方保存記錄）。

4．二代的測試架采用自動傳感裝置，接近被測物體時實行自動減速，避免了被測物體的損耗和探頭的磨損（先于國內市場上任何一款同類產品的測試架，老一代為手動）。

5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時，標準系數為機器自帶自調，無需另外手工調整，省去了原儀器的諸多麻煩。

6. 本儀器的Z小分辨率為0.1mΩ

7．主機帶有手自一體功能

8．測試探頭為鎢針，市場上多為高速鋼針。

9．每次測量均有內置計算機自動進行溫度補償及電壓電流矯正。

10．整機測量標準不確定度：≤ 2%（國內其它廠家誤差為≤ 5% ）

11. 技術參數：
1)． 測量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω

2)． 可測半導體材料尺寸

直徑：5mm-130mm
長度：≤400mm

3)． 測量方法：
軸向、斷面均可
4)． 顯示方式：41/2,數顯,極性、過載自動顯示，小數點、單位自動顯示。
5)． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續(xù)可調。

（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W

8) SZT-2A 分為帶電腦接口和不帶電腦接口的兩種，帶接口功能為當硅片的厚度＜1mm時自動修正讀數，使得測量出的數據準確率為，被測試的數據自動生成表格并可以打印，可以隨時保存和刪除.