當前位置:北京中慧天誠科技有限公司>>實驗室設(shè)備儀器>>其它>> YQDH-500JJC多靶磁控濺射鍍膜機 型號:YQDH-500JJC
柴油車加載減速工況檢測系統(tǒng) 型號:GFC7/LDS-100
數(shù)顯電批/風(fēng)批扭力試驗儀 型號:CLGHP-50
數(shù)顯電批/風(fēng)批扭力試驗儀 型號:CLGHP-50S
產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
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多靶磁控濺射鍍膜機 型號:YQDH-500JJC | 貨號:ZH5498 |
產(chǎn)品簡介 該鍍膜機主于科研實驗,可制備納米和微米的單層及多層工能膜-種硬質(zhì)膜,光學(xué)膜,金屬膜,鐵磁薄膜,半導(dǎo)體膜,介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。 該鍍膜機為前開門式設(shè)計,功能強,鍍膜穩(wěn)定,重復(fù)性好,操作簡便。真空室材料均采用優(yōu)良材SUS304不繡鋼材料制造,規(guī)范,,了材料的成膜度。 采用分子泵+直聯(lián)機械泵機組,具有抽速快,油,操作方便快捷,易于維護的特點。 1 鍍膜方式:可實現(xiàn)多靶共濺模式 2 磁控靶:圓柱/平面靶; 3 進氣系統(tǒng):三路流量計; 4 鍍膜室體積:500×500×600mm3 5 限真空度:6.7×10-5Pa; 恢復(fù)真空度:從大氣抽到6.7×10-4Pa;﹝40分鐘﹞ 6 真空抽氣系統(tǒng):機械泵與分子泵組成; 7 真空測量系統(tǒng):數(shù)顯復(fù)合真空計; 8 工作電源:真流電源500W;射頻電源500W﹝13.56MHz﹞;加熱控溫電源; 9 工作烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)﹝PID控溫﹞; 10 選配件:石英晶振測厚儀,冷卻水機組等; 11 供電電源:三相AC380V,50Hz | ![]() |
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