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在軸類工件測量方面，已開發(fā)出采用CCD陣列傳感器的非接觸測量技術(shù)，可在數(shù)10s時間內(nèi)，測量出旋轉(zhuǎn)軸的長度、直徑、同軸度、圓度、重直度及跳動等多種數(shù)據(jù)。如Tesa公司開發(fā)出一種CNC非接觸式軸類零件測量儀TESASCAN，其測量精度為2+0.01Dμm（D為被測量件的直徑）。
微細(xì)、小型零件的測量不斷增多

在圓度、圓柱度測量儀方面，對其測量精度的要求進一步提高，尤其是隨著微小孔和微細(xì)零件測量需求的增多，各公司相繼開發(fā)出能夠滿足高精度測量指標(biāo)的產(chǎn)品。

Taylor Hobson公司開發(fā)出一種全自動圓度測量儀Talyrond295，其特點是：①依靠高速調(diào)同心和調(diào)水平機構(gòu)，工件能很容易的迅速調(diào)整安裝。由于工件和儀器發(fā)生干涉的可能性小，測量范圍廣；②采用新開發(fā)的可動防振臺、防風(fēng)罩，測量精度穩(wěn)定；③在機器校正方面，已獲得英國UKAS（英國檢測協(xié)會）的檢測鑒定保證書規(guī)定的各種相關(guān)數(shù)據(jù)，便于用戶購置該機后，進行對比檢測；④配有高速找正機構(gòu)及水平測量器，工件可快速定位進行測量。該公司負(fù)責(zé)人指出：“目前，圓度測量儀和表面粗糙度檢查儀雖已制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但只能在表面質(zhì)量和圓度精度測量方面滿足用戶的需要。隨著自動化的迅速進展，廣大用戶要求快速測量工件的整體形狀精度，這已成為該領(lǐng)域近期的發(fā)展趨勢。”“該領(lǐng)域目前正由接觸式測量向非接觸測量過渡，Taylor Hobson公司開發(fā)出一種綜合測量儀CLI 2000，可在大范圍（□200mm）采用接觸式和非接觸式兩種方式進行測量。公司還銷售一種與超精密鏡面加工機床NANOFORM850（納米級）配套的測量儀，目前，公司正以超精密測量技術(shù)為戰(zhàn)略性開發(fā)方向。”

在表面粗糙度測量方面，各公司已開發(fā)出能一次將表面粗糙度和輪廓形狀檢測出來的表面形狀測量儀。如三豐公司的CS-5000CNC，可自動測量工件的表面形狀，而且可同時對多個同一類型或不同類型工件進行測量。東京精密公司開發(fā)出一種牌號為SURFCOM 2000 DX的測量儀，驅(qū)動部分采用直線電機，可實現(xiàn)低振動高速驅(qū)動，測量精度和測量效率均大幅度提高。

激光測量系統(tǒng)方面，雷尼肖公司開發(fā)的ML 10測量系統(tǒng)適用于機械加工現(xiàn)場，可保持很高的可靠性，定位精度為±0.7ppm（0～40℃條件下），分辨力為0.001μm，可用于超精密測量領(lǐng)域。東京貿(mào)易技術(shù)系統(tǒng)公司的Leica激光跟蹤儀，利用激光線性光傳感器進行非接觸測量，測量范圍的半徑達40m，測量精度為25μm/2.5m。

在圖像測量系統(tǒng)方面，三豐公司開發(fā)出一種快速掃描系統(tǒng)Quick vision，它可以不停止地進行高速圖像測量，測量效率比過去提高數(shù)倍。YKT公司開發(fā)出的顯微攝像系統(tǒng)，是在美國OGP公司生產(chǎn)的直接錄像顯微鏡（VDM）上使用配置光纖光源的EDF鏡片，能顯示出大深度小孔和看不見的被測物體，獲得彩色三維圖像。

接觸和非接觸測量的優(yōu)劣之爭

三坐標(biāo)測量機是形狀測量的主導(dǎo)產(chǎn)品，目前，三坐標(biāo)測量正在開發(fā)能夠適應(yīng)測量環(huán)境變化的新機種，這種新型三坐標(biāo)測量機在保持原有精密測量性能的前提下，可以離開恒溫恒濕的測量室，在機械加工現(xiàn)場或裝配到機床上使用。例如三豐公司開發(fā)的新產(chǎn)品MACH－V9106，便是一種可進行在線測量的三坐標(biāo)測量機，它具有很高的測量效率，zui大移動速度866mm/s，zui大加速度0.86G，指示誤差E=2.5+3L/1000μm。該測量機的環(huán)境適應(yīng)性能十分優(yōu)異，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品帶有溫度補償功能，可在15～35℃環(huán)境條件下使用。

東京精密公司開發(fā)出一種能適應(yīng)環(huán)境變化的三坐標(biāo)測量機GageMax（與卡爾蔡司公司合作生產(chǎn)），它不需要檢測室即可進行高精度測量。GageMax為懸臂式測量機，所需安置面積較小，可實時處理生產(chǎn)線上反饋的信息，為了補償工件溫度變化，測量機配有相應(yīng)的溫度傳感器，在15～40℃的環(huán)境條件，可保證獲得良好的測量精度。

DEA開發(fā)出了DCC GAGE 等CNC三坐標(biāo)測量機，并已正式投放市場。這種測量機采用獨立的二段減速系統(tǒng)，可進行高速測量，移動速度305mm/s，加速度為290mm/s2。

目前，在幾何參數(shù)測量方面，由于精度要求和傳統(tǒng)操作習(xí)慣的緣故，測量時大都使用接觸傳感器。不過，隨著非接觸式傳感器品種的增多，非接觸式測量的范圍正在不斷擴大。非接觸傳感器的測量效率非常高，如在自由曲面整體評價或厚度判斷、反求工程等領(lǐng)域的測量中，可快速連續(xù)獲得由數(shù)萬個點形成的點陣參數(shù)。工件形狀變得復(fù)雜時，非接觸傳感器的姿態(tài)也將隨之相應(yīng)改變。因此，采用按編程可自動改變測量形式進行精密測量的三坐標(biāo)測量方式，對提高測量效果將更為有利。

接觸式和非接觸式測量方法孰優(yōu)孰次，是測量技術(shù)行業(yè)長期議論的話題。有關(guān)人士指出：“近來，非接觸式測量雖已逐漸成為主流，但要獲得高度的測量值，則仍需進行接觸測量。非接觸式測量速度快，可減輕對工件的損傷，與接觸式測量相比較，優(yōu)點很多。但在測量精度和穩(wěn)定性方面，接觸式測量仍高出*。接觸式測量是測頭與工件表面的某一個點接觸進行測量，沿著工件形狀進行掃描，可在短時間內(nèi)高密度地獲得大量點數(shù)，測量點數(shù)越多，越能獲得更為正確的形狀參數(shù)。”

測量技術(shù)的展望

通過問卷調(diào)查，測量機用戶的需求動向和測量技術(shù)的發(fā)展前景可歸納如下：

（1）“隨著防振要求的提高，測量機正向兩極分化的方向發(fā)展，面向汽車行業(yè)用戶的測量機，通常均為價格較便宜（不需要很高精度）的機種，另一類則是用于設(shè)備檢測、防災(zāi)、防震領(lǐng)域的高靈敏度機種。根據(jù)不同的用途，要求開發(fā)相應(yīng)的*測量技術(shù)。”（阿卡西公司）

（2）“刀具預(yù)調(diào)測量儀，目前正由投影儀類型向監(jiān)測器類型轉(zhuǎn)變。”（大阪工機公司）“儀表校正等精密工具的測量需求增多。”（柯靈斯公司）

（3）“特殊零件的測量增多，這些零件采用接觸式測量時，往往會因測量力而變形；采用非接觸式測量又易出現(xiàn)精度不穩(wěn)定，因此，需要開發(fā)新型測量技術(shù)。”（西鐵城鐘表公司）

（4）“市場需要易于操作的非接觸式測量技術(shù)。”（FARO日本公司）“測量技術(shù)應(yīng)便于操作，且具有多種功能。同時，應(yīng)配裝千分尺和個人計算機等裝置，提高測量機的附加值。”（大塞公司）

（5）“用戶希望開發(fā)出高精度、高速、低價格的齒輪測量機。”（大阪精密機械公司）

（6）“汽車行業(yè)存在著減少zui終集中測試的趨勢。主動檢測和在線（序后）檢測等在加工中得到推廣應(yīng)用。其中，在保證質(zhì)量方面，許多用戶希望測量技術(shù)能實現(xiàn)數(shù)據(jù)的無線傳輸。”（日本電氣）

如上所述，測量技術(shù)的主攻方面仍然是進一步提高測量精度；同時，人們對測量技術(shù)的重要性和存在價值的認(rèn)識應(yīng)大幅度提高，這是測量技術(shù)今后不斷發(fā)展的巨大推動力。