壓阻式壓力傳感器的工作原理

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壓阻式壓力傳感器的工作原理

來源：金湖力科儀表有限公司 2014年06月24日 14:26

　　壓阻式壓力傳感器的工作原理圖
　　
　　壓阻式壓力傳感器屬于哪種壓力變送器？主要用在哪些方面？壓阻式壓力傳感器利用什么原理工作的呢？親，您稍等我們?yōu)槟忉尅?br />　　
　　壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成，其工作原理如圖2-2-9所示。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝.在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。
　　
　　壓阻式壓力傳感器具有精度高、工作可靠、頻率響應(yīng)高、遲滯小、尺寸小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單等特點，可以適應(yīng)惡劣的環(huán)境條件下工作，便于實現(xiàn)顯示數(shù)字化。壓阻式壓力傳感器不僅可以用來測量壓力，若稍加改變，還可以用來測量差壓、高度、速度、加速度等參數(shù)。
　　
　

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