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1.3S48 32/HMT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的特點(diǎn)
S48 32/HMT型質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))是在Horiba-STEC引進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上,結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。
☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。
☆可任意位置安裝。
☆電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合工作。
技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項(xiàng)目 | S48 32/HMT S49-32BA/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (0~1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝方向 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%~ |
6 | 流量測量范圍 | 0~ |
7 | 零點(diǎn)溫漂 | ±30mV(15℃~35℃) |
8 | 響應(yīng)時間 | 2S(T98,設(shè)定值的±2% F.S) |
9 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃~50℃ |
10 | 精度保證溫度 | 15℃~35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 線性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作壓差 | <10L/min (50~300)kPa,其余規(guī)格(100~300)kPa |
15 | 耐壓 | 3MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s (He) |
17 | 接觸氣體材料 | 316L、PTFE、Viton氟橡膠 |
18 | 管路接頭 | 1/4Swagelok,Φ6~Φ10 |
19 | 供電電源 | ±15VDC(±5%)。 +15V<100mA,-15V<150mA |
20 | 設(shè)定信號 | (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
21 | 流量輸出信號 | (0~5)VDC 負(fù)載能力≤3mA |
22 | 電氣接頭 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(寬)×121(高)×32(厚)
|
24 | 重量(Kg) | 0.94 |
安裝環(huán)境
本產(chǎn)品為室內(nèi)使用產(chǎn)品,工作環(huán)境溫度為5~45℃,相對濕度40~60%。
應(yīng)注意安裝環(huán)境遠(yuǎn)離振動、塵埃、電磁干擾等。
要求使用的氣體潔凈、無水汽及凝結(jié)可能,如客戶使用強(qiáng)腐蝕性氣體需在訂
貨時說明。
開機(jī)操作
接通電源后,先預(yù)熱15 分鐘,再通氣工作,以保證測量的準(zhǔn)確度。
比如:通電時,將閥控開關(guān)置于“關(guān)閉”位置并將設(shè)定電位器調(diào)到零,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,將閥控開關(guān)轉(zhuǎn)到“閥控”位,然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值,實(shí)際流量將跟蹤設(shè)定值而改變。
清洗與關(guān)閉功能
將閥控開關(guān)置為“清洗”位,閥將打開到zui大,如果氣路上下游存在工作壓差,將會有很大的氣流通過,此功能可用于吹洗管路,或用于排除MFC 內(nèi)部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至十幾倍。
關(guān)機(jī)
斷電源后,氣流自動截止。推薦先關(guān)氣,后斷電源。
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