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S48 32/HMT說明書

來源:北京堀場匯博隆精密儀器有限公司   2014年09月18日 15:57  

1.3S48 32/HMT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的特點(diǎn)

S48 32/HMT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))是在Horiba-STEC引進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上,結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意位置安裝。

☆電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合工作。

技術(shù)指標(biāo)

 

編號

項(xiàng)目

S48 32/HMT

S49-32BA/MT

1

流量規(guī)格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min

(0~1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

安裝方向

任意

5

流量控制范圍

2%

6

流量測量范圍

0

7

零點(diǎn)溫漂

±30mV(15℃~35℃)

8

響應(yīng)時間

2S(T98,設(shè)定值的±2% F.S)

9

工作環(huán)境溫度

5℃~50℃

10

精度保證溫度

15℃~35℃

11

精度

±1.0%F.S

12

線性精度

±0.5%F.S

13

重復(fù)性

±0.2%F.S

14

工作壓差

<10L/min (50~300)kPa,其余規(guī)格(100~300)kPa

15

耐壓

3MPa

16

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s (He)

17

接觸氣體材料

316L、PTFE、Viton氟橡膠

18

管路接頭

1/4Swagelok,Φ6~Φ10

19

供電電源

±15VDC(±5%)。  +15V<100mA,-15V<150mA

20

設(shè)定信號

(0~5)VDC    輸入阻抗>1MΩ

21

流量輸出信號

(0~5)VDC     負(fù)載能力≤3mA

22

電氣接頭

D-SUB15

23

外形尺寸mm

113(寬)×121(高)×32(厚)

 

24

重量(Kg)

0.94

 安裝環(huán)境

本產(chǎn)品為室內(nèi)使用產(chǎn)品,工作環(huán)境溫度為5~45℃,相對濕度4060%

應(yīng)注意安裝環(huán)境遠(yuǎn)離振動、塵埃、電磁干擾等。

要求使用的氣體潔凈、無水汽及凝結(jié)可能,如客戶使用強(qiáng)腐蝕性氣體需在訂

貨時說明。

開機(jī)操作

接通電源后,先預(yù)熱15 分鐘,再通氣工作,以保證測量的準(zhǔn)確度。

比如:通電時,將閥控開關(guān)置于“關(guān)閉”位置并將設(shè)定電位器調(diào)到零,待零點(diǎn)穩(wěn)定后,將閥控開關(guān)轉(zhuǎn)到“閥控”位,然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值,實(shí)際流量將跟蹤設(shè)定值而改變。

清洗與關(guān)閉功能

將閥控開關(guān)置為清洗位,閥將打開到zui大,如果氣路上下游存在工作壓差,將會有很大的氣流通過,此功能可用于吹洗管路,或用于排除MFC 內(nèi)部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至十幾倍。

關(guān)機(jī)

斷電源后,氣流自動截止。推薦先關(guān)氣,后斷電源

 

 

 

 

 

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