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1.3S48 32/HMT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的特點(diǎn)

S48 32/HMT型質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）是在Horiba-STEC引進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意位置安裝。

☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合工作。

技術(shù)指標(biāo)

 安裝環(huán)境

本產(chǎn)品為室內(nèi)使用產(chǎn)品，工作環(huán)境溫度為5～45℃，相對濕度40～60%。

應(yīng)注意安裝環(huán)境遠(yuǎn)離振動、塵埃、電磁干擾等。

要求使用的氣體潔凈、無水汽及凝結(jié)可能，如客戶使用強(qiáng)腐蝕性氣體需在訂

貨時說明。

開機(jī)操作

接通電源后，先預(yù)熱15 分鐘，再通氣工作，以保證測量的準(zhǔn)確度。

比如：通電時，將閥控開關(guān)置于“關(guān)閉”位置并將設(shè)定電位器調(diào)到零，待零點(diǎn)穩(wěn)定后，將閥控開關(guān)轉(zhuǎn)到“閥控”位，然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值，實(shí)際流量將跟蹤設(shè)定值而改變。

清洗與關(guān)閉功能

將閥控開關(guān)置為“清洗”位，閥將打開到zui大，如果氣路上下游存在工作壓差，將會有很大的氣流通過，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 內(nèi)部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至十幾倍。

關(guān)機(jī)

斷電源后，氣流自動截止。推薦先關(guān)氣，后斷電源。